力晶洗淨設備工程師？ - 工程師

洗淨就etching的一種 可放在擴散部的爐管前洗淨

乾式去光阻後也可能用硫酸再洗一次 也可以用來蝕刻圖案
應用算滿廣的

算蝕刻的，不過是濕蝕刻，基本上就以水跟IPA為主，除
非想拿來洗特別的材料才需要用專用的溶劑去洗

在設備裡算爽缺了

薄膜好太多了！洗淨設備就wet設備,一有問題報廢都是一拖拉庫
.....

wet絕對是屎缺

WET CLAEN在GG也是屎缺

是我不會再選wet了..目前手上又一份大量報廢的報告要寫囉QQ

我是不知道力晶啦，但是說wet etch只有水和ipa的...積點
陰德好吧不要這樣坑人

我某公司wet clean設備，用到的酸可多了～

重點不在用酸，那些自己工作上本來就要小心做好防護，刺激
的是報廢都很大量，不管是defect還是機台傳送出問題都容易
導致大量產品在你面前說掰掰

wet 酸以GG來說大宗應該就是HF 硫酸和卡羅酸吧？？？？

硫酸 阿摩尼亞 IPA 磷酸 HF EKC 這幾種比較常見