要用iline or gline - 工程師

David · 2022-10-21

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求線上專業人員（目前小弟是研究生）
小弟研究背電極光罩
目的是：在掃描電容顯微術中，背電極的面積大小會影響得到的微分電容訊號

那現在 9mmx9mm的光罩投影到晶背上，要用g-line還是I-line？（看了幾份文獻都沒提
到）工程師就說問指導老師，指導老師說問工程師

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工程師

All Comments

Irma2022-10-22

那你不會試看看？

Rachel2022-10-23

當然是EUV 跟樓下拿阿斯麥採購連絡電話

Steve2022-10-24

太難了超出自身專業太多得問內行的

Steve2022-10-24

gline 和 i line 先解釋一下是啥好嗎

Zanna2022-10-25

自己去算解析度啊==

Belly2022-10-24

主要看你的pattern和有什麼設備吧

Hardy2022-10-25

看光阻吸收波段吧，不負責回答

Sandy2022-10-24

看你的光阻材料啊

Damian2022-10-25

誰知道你線寬多少==

Donna2022-10-24

436跟365你比較喜歡哪個數字?

Kristin2022-10-25

認真回, 理論上波長越小, 解析度越佳,但DOF會下降
你還是要評估啦, 我是不太相信paper都沒寫實驗條件
你也可以寄信去問通訊作者

Ophelia2022-10-24

用G-line去輪班就知道了

Blanche2022-10-25

用immersion 閉著眼睛曝光就好

Daph Bay2022-10-24

答案很明顯是gline

Irma2022-10-25

Line改這麼多版本了喔，趕快來下載

Jack2022-10-24

9x9的光罩跟要用I還g有什麼關係啊？認真不懂？爽用K
rF或ArFi也行吧看pattern跟光阻不是嗎？

Erin2022-10-25

getline

Eden2022-10-24

看圖案線寬大小決定用那個

Agnes2022-10-25

作業自己寫啦

Kristin2022-10-24

建議直上GTline,比較超值

Eden2022-10-25

問就是gline

Christine2022-10-24

當然是high NA EUV

Ina2022-10-25

G point

Isabella2022-10-24

Edwina2022-10-25

顯微鏡手刻即可

Callum2022-10-24

皆可使用

Eden2022-10-25

ST line 也不錯考慮一下

James2022-10-24

gline呀

Doris2022-10-25

太難了我只知道highlight

Genevieve2022-10-24

哪麼大的線寬，搭配適合的光阻都曝的出來，要先看
後續的製程需要要什麼樣的光阻吧！

Robert2022-10-25

Gline 就夠了，殺雞用牛刀

Cara2022-10-24

手刻啊！ CD那麼大

Elizabeth2022-10-25

.…....

Elma2022-10-24

黃光設備工程師歡迎你

Skylar DavisLinda2022-10-25

9mm我都用手刻給你參考

要用iline or gline - 工程師

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