5、7nm的光阻跟14nm的不同嗎? - 工程師

Ida avatar
By Ida
at 2019-12-02T20:02

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因為離開晶圓廠有點久了
而且以前也不是黃光的
請教的問題可能很瞎
請多包涵

想請問7nm跟14nm用的光阻會不同嗎?

我以前的想法是跟機台比較有關
精度差異大的的機台可能搭配的光阻不同
或是我也是對的，因為7nm是跳了一個難度gap
只能適用全新技術的photo機台
理所當然光阻也不同?

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All Comments

Hedda avatar
By Hedda
at 2019-12-06T04:14
不告訴膩雷。
Sierra Rose avatar
By Sierra Rose
at 2019-12-09T10:17
雷
Hardy avatar
By Hardy
at 2019-12-11T18:29
高中物理
Jake avatar
By Jake
at 2019-12-15T23:50
想知道這的通常是對岸人士，不過黃光這麼多道，同node就
有不同光阻了，你還是直接問用每道用哪種光阻比較快
Elvira avatar
By Elvira
at 2019-12-19T03:04
光阻有很多種，從前段到封裝各個製程都有不一樣的，光是
封裝就有好幾種
Joe avatar
By Joe
at 2019-12-21T00:27
線路越細要求解析度肯定更高，其他請專業的前輩回答
Anthony avatar
By Anthony
at 2019-12-22T12:42
你真的人認為在這能問到答案嗎
Lauren avatar
By Lauren
at 2019-12-25T07:07
以前是小整合的認知，光源、解析度、要檔蝕刻的量、正負
光阻都會用不同光阻，這開發的時後都會評估
Lucy avatar
By Lucy
at 2019-12-29T02:27
底片有分感光速度，7nm跟14nm製程光阻就算成分種類一樣
，配比也會有差異
Regina avatar
By Regina
at 2020-01-02T04:30
當然有差異，跟車零件的精細度是一樣的，只是一個是車刀
硬度與精細度，一個是解析度與照射時間
Anthony avatar
By Anthony
at 2020-01-06T14:32
不同製程要求的解析不同，感光成分一定也會有所調整
，即便可能可以用，材料商肯定會跟你講成分不一樣，
要加價賣你，除非製程本身很強，可以自己去抓參數
Erin avatar
By Erin
at 2020-01-08T07:33
EUV光阻跟一般光阻不一樣
Lucy avatar
By Lucy
at 2020-01-10T17:21
直覺上不同光源會主要影響選用的成分，不同波長影響吸收
Connor avatar
By Connor
at 2020-01-11T07:00
介於一樣跟不一樣之間
Olga avatar
By Olga
at 2020-01-14T06:59
PIP好嗎 這邊不可能問的到
Selena avatar
By Selena
at 2020-01-18T06:28
其實我更想問的是製程極限會不會不是發生在機台而是因為
光阻做不到，導致後續3nm1nm碰壁
Damian avatar
By Damian
at 2020-01-19T22:26
全台灣搞不好還沒幾個人摸過EUV 怎麼可能問得到
Eartha avatar
By Eartha
at 2020-01-22T20:46
不同波長的光所需要的光酸不一樣
Agatha avatar
By Agatha
at 2020-01-22T23:12
問這幹嘛? 要不要 dosage focus 一起講?
Ina avatar
By Ina
at 2020-01-26T07:03
偷偷告訴你是用OMOG，剩下的我不能再說了
Regina avatar
By Regina
at 2020-01-30T05:19
問這幹嘛
Quanna avatar
By Quanna
at 2020-02-03T12:56
問這問題真的很瞎
Mia avatar
By Mia
at 2020-02-03T18:05
非EUV的7nm 跟 14nm光源都是193 immersion 差在多重曝光，
光阻應該一樣或差不多，EUV 7nm 光源波長差那麼多，光阻
當然不一樣。
Quanna avatar
By Quanna
at 2020-02-05T05:48
PIP 誰要跟你講
Edwina avatar
By Edwina
at 2020-02-07T10:20
作業自己做==
Edith avatar
By Edith
at 2020-02-11T19:32
碩班做25um跟100um都用同一種PR
給你參考
Gary avatar
By Gary
at 2020-02-14T21:24
PIP
Yedda avatar
By Yedda
at 2020-02-16T16:05
學生作業自己做啦
Skylar Davis avatar
By Skylar Davis
at 2020-02-20T13:49
應該是12樓講得那樣
會因為感光速度有成份微調
Andy avatar
By Andy
at 2020-02-22T12:10
我碩班做25um和100um用不同PR耶，不過是厚度不是線寬
Eartha avatar
By Eartha
at 2020-02-26T23:03
看你可憐 光阻正負會影響最小線寬 黏稠度也會
Poppy avatar
By Poppy
at 2020-02-27T18:17
剩下自己做功課
Valerie avatar
By Valerie
at 2020-02-29T04:29
其實一樣沒問題
Daph Bay avatar
By Daph Bay
at 2020-03-02T23:50
你每天站在GG大門口，開一看就知道了
Daph Bay avatar
By Daph Bay
at 2020-03-04T07:47
奈米越小臉越黃，選我正解
Catherine avatar
By Catherine
at 2020-03-04T11:19
PIP...
而且同平台不同設備也可能有不同光阻搭配
Joseph avatar
By Joseph
at 2020-03-05T15:24
當然你要知道rough的答案就是不同
Joseph avatar
By Joseph
at 2020-03-10T05:58
日光燈會越來越黃
Hedy avatar
By Hedy
at 2020-03-11T08:23
應該可以用一樣光阻的去做 只是良率效能會很差 所以肯定
會微調或大改配方 兩個製程客戶能接受的價格也不同 最適
合的配方肯定不會一樣
Robert avatar
By Robert
at 2020-03-13T03:05
不同 layer 光阻就分好多種了，你問有沒有一樣的比較快
Zenobia avatar
By Zenobia
at 2020-03-17T17:45
double patterning
Ingrid avatar
By Ingrid
at 2020-03-18T23:21
光阻..問光阻商就好啦...光阻製程定下來後夭壽難換的
Suhail Hany avatar
By Suhail Hany
at 2020-03-20T11:45
線寬、厚度、正負型、光源、機台、塗布都有影響
Rosalind avatar
By Rosalind
at 2020-03-21T09:59
光阻商願意調整多少，交期多急....
Eartha avatar
By Eartha
at 2020-03-22T07:54
連帶影響要大改還是盡可能調整成分比例去解決
Regina avatar
By Regina
at 2020-03-25T13:51
當然有差 不然幹嘛花好幾十億買泡水機
Edwina avatar
By Edwina
at 2020-03-29T22:05
PIP

MFC、VS C++、C#、PHP 工程師

Necoo avatar
By Necoo
at 2019-12-02T15:22
◎上次自介發表日：05/23/2017 （如發表過自介，需隔年同日後始可再發，初次發表請填寫 [初次發表] ） ◎ID、暱稱，或團隊、工作室、公司名稱：Didd ...

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