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5、7nm的光阻跟14nm的不同嗎? - 工程師

Ida avatarIda · 2019-12-02

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因為離開晶圓廠有點久了
而且以前也不是黃光的
請教的問題可能很瞎
請多包涵

想請問7nm跟14nm用的光阻會不同嗎?

我以前的想法是跟機台比較有關
精度差異大的的機台可能搭配的光阻不同
或是我也是對的，因為7nm是跳了一個難度gap
只能適用全新技術的photo機台
理所當然光阻也不同?

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工程師

All Comments

Hedda avatarHedda2019-12-06
不告訴膩雷。
Sierra Rose avatarSierra Rose2019-12-09
雷
Hardy avatarHardy2019-12-11
高中物理
Jake avatarJake2019-12-15
想知道這的通常是對岸人士，不過黃光這麼多道，同node就
有不同光阻了，你還是直接問用每道用哪種光阻比較快
Elvira avatarElvira2019-12-19
光阻有很多種，從前段到封裝各個製程都有不一樣的，光是
封裝就有好幾種
Joe avatarJoe2019-12-21
線路越細要求解析度肯定更高，其他請專業的前輩回答
Anthony avatarAnthony2019-12-22
你真的人認為在這能問到答案嗎
Lauren avatarLauren2019-12-25
以前是小整合的認知，光源、解析度、要檔蝕刻的量、正負
光阻都會用不同光阻，這開發的時後都會評估
Lucy avatarLucy2019-12-29
底片有分感光速度，7nm跟14nm製程光阻就算成分種類一樣
，配比也會有差異
Regina avatarRegina2020-01-02
當然有差異，跟車零件的精細度是一樣的，只是一個是車刀
硬度與精細度，一個是解析度與照射時間
Anthony avatarAnthony2020-01-06
不同製程要求的解析不同，感光成分一定也會有所調整
，即便可能可以用，材料商肯定會跟你講成分不一樣，
要加價賣你，除非製程本身很強，可以自己去抓參數
Erin avatarErin2020-01-08
EUV光阻跟一般光阻不一樣
Lucy avatarLucy2020-01-10
直覺上不同光源會主要影響選用的成分，不同波長影響吸收
Connor avatarConnor2020-01-11
介於一樣跟不一樣之間
Olga avatarOlga2020-01-14
PIP好嗎 這邊不可能問的到
Selena avatarSelena2020-01-18
其實我更想問的是製程極限會不會不是發生在機台而是因為
光阻做不到，導致後續3nm1nm碰壁
Damian avatarDamian2020-01-19
全台灣搞不好還沒幾個人摸過EUV 怎麼可能問得到
Eartha avatarEartha2020-01-22
不同波長的光所需要的光酸不一樣
Agatha avatarAgatha2020-01-22
問這幹嘛? 要不要 dosage focus 一起講?
Ina avatarIna2020-01-26
偷偷告訴你是用OMOG，剩下的我不能再說了
Regina avatarRegina2020-01-30
問這幹嘛
Quanna avatarQuanna2020-02-03
問這問題真的很瞎
Mia avatarMia2020-02-03
非EUV的7nm 跟 14nm光源都是193 immersion 差在多重曝光，
光阻應該一樣或差不多，EUV 7nm 光源波長差那麼多，光阻
當然不一樣。
Quanna avatarQuanna2020-02-05
PIP 誰要跟你講
Edwina avatarEdwina2020-02-07
作業自己做==
Edith avatarEdith2020-02-11
碩班做25um跟100um都用同一種PR
給你參考
Gary avatarGary2020-02-14
PIP
Yedda avatarYedda2020-02-16
學生作業自己做啦
Skylar Davis avatarSkylar Davis2020-02-20
應該是12樓講得那樣
會因為感光速度有成份微調
Andy avatarAndy2020-02-22
我碩班做25um和100um用不同PR耶，不過是厚度不是線寬
Eartha avatarEartha2020-02-26
看你可憐 光阻正負會影響最小線寬 黏稠度也會
Poppy avatarPoppy2020-02-27
剩下自己做功課
Valerie avatarValerie2020-02-29
其實一樣沒問題
Daph Bay avatarDaph Bay2020-03-02
你每天站在GG大門口，開一看就知道了
Daph Bay avatarDaph Bay2020-03-04
奈米越小臉越黃，選我正解
Catherine avatarCatherine2020-03-04
PIP...
而且同平台不同設備也可能有不同光阻搭配
Joseph avatarJoseph2020-03-05
當然你要知道rough的答案就是不同
Joseph avatarJoseph2020-03-10
日光燈會越來越黃
Hedy avatarHedy2020-03-11
應該可以用一樣光阻的去做 只是良率效能會很差 所以肯定
會微調或大改配方 兩個製程客戶能接受的價格也不同 最適
合的配方肯定不會一樣
Robert avatarRobert2020-03-13
不同 layer 光阻就分好多種了，你問有沒有一樣的比較快
Zenobia avatarZenobia2020-03-17
double patterning
Ingrid avatarIngrid2020-03-18
光阻..問光阻商就好啦...光阻製程定下來後夭壽難換的
Suhail Hany avatarSuhail Hany2020-03-20
線寬、厚度、正負型、光源、機台、塗布都有影響
Rosalind avatarRosalind2020-03-21
光阻商願意調整多少，交期多急....
Eartha avatarEartha2020-03-22
連帶影響要大改還是盡可能調整成分比例去解決
Regina avatarRegina2020-03-25
當然有差 不然幹嘛花好幾十億買泡水機
Edwina avatarEdwina2020-03-29
PIP