ASML CSE / 東元大馬達RD工作心得 - 工程師

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By Adele
at 2014-08-19T04:18

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感謝ASML的資深前輩願意出來分享!看到有人願意出來反駁其實是
一件好事,畢竟如您所說,我資歷才十個月的確是片面之詞,需要
拋磚引玉出更多討論,以供後人有更多的了解。

沒錯,ASML的training裡面的確提到非常非常多的原理,stage的定
位、多階段的對焦、整個機台裡面無數的sensor等等,要能夠troule
shooting也不是件簡單的事,但有幾點是跟我期待不符的:

1.CSE第一線直接面對客戶,通常是簡單的CASE、像是換個東西就好的
或是跑跑TEST修復才會是我們解掉,很少有機會慢慢trouble shooting
通常客戶端看你幾個小時解不出來,就會一直要求escalate到二線,
內部甚至有規則是4個小時(還是8小時忘了)無法解掉,就要escalate
CSE直接面對客戶的時間壓力、能分析的時間其實很少,我其實還
蠻羨慕你能這樣分析一個case的,感覺可以學到很多!但我猜你應
二三線以上的人,才能夠完整的蒐集近百項測試、分析訊號等等,但
CSE...至少是三五年內的CSE,通常就是蒐集那近百項測試的苦工,也不
會是完整一台機台跟到完,今天沒解完、有人來接,明天也未必繼續
同一台,其實還蠻破碎的。

至於轉二線...現在新竹CSE缺到要強制轉台中site上來支援,新竹
TSMC的壓力實在是太大了,缺人缺到這種程度,要能轉上去蠻難。

2.TWINSCAN十分複雜且精密這無庸置疑,記得第一次看到磁浮的STAGE
實際在跑,加減速之迅速幾乎是一眨眼的時間,整個被震驚到。但我
感覺,就算懂了機台的運作原理,我依舊是無法設計出一台機台。

拿磁浮驅動的stage來說好了,CSE解問題時只要知道定位是否正確?
加減速正常?高度?判讀各個sensor的訊號,進階一點看軌跡圖對應
到各時間點,交叉分析問題出現在哪個時間點、檢查其他模組於該時
間點是否出現異常訊號去交叉比對。這的確需要非常了解機台、有豐
富的經驗才能做出。但就設計來說,我還是不知道各磁鐵磁力該設計
多大、電流該給多少會有多少速度、加減速如何做到既迅速又保持
wafer的平穩。

CSE要知道的廣,很正常無法深入一些設計細節,而且身為第一線,
要做的雜事實在是太多太多...根本有半數時間花在無意義的事情上
要能了解機台,身為CSE是可以,但要花的時間要好幾倍以上。

至於轉RD,倒是一條不錯的路,也有聽裡面主管提過,有興趣的人
可以試試!


不管是從第一線的CSE到後來的二三線,要懂的東西的確都很多,不是
幾個月幾年可以學完的,真的是很博大精深,感謝mikye板友專業的分
享,我其實也很怕會誤導到一些人,如果認知有誤、再請不吝指正!

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All Comments

Elvira avatar
By Elvira
at 2014-08-21T14:55
我舉例的公司都是台灣設計機台的,從無到有自己設計

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By Kumar
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