ASML宣布全新半導體技術：產能大漲600% - 工程師

By Mary
at 2020-05-28T23:34

Table of Contents

5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導體技術：產能大漲600%

提到荷蘭ASML公司，大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商，7nm及以下的工藝生
產都要靠他們的設備。不過ASML不只是光刻機厲害，今天他們宣布了另外一個新產品——
第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000，適用於5nm及更先進工藝，使得產能大漲600%。

隨著製程工藝不斷提升，晶圓的製造也越來越複雜，這也會導致晶圓中的錯誤更多，HMI
eScan1000就是一套基於HMI多光束技術的檢測系統，內部也有復雜的光電子系統，能夠產
生、控制多個電子束，然後根據反射回來的電子束成像來分析晶圓質量，並有高速運行的
平台以控制測試的晶圓數量，還要有計算系統處理電子束的數據。

簡單來說，ASML研發的這個HMI eScan1000機器就是一台驗證先進工藝生產出來的晶圓質
量的系統，工藝越先進，檢測系統就越重要，它的檢測精度、吞吐量決定了生產的效率。

ASML的HMI eScan1000的突破之處在於能夠同時產生、控制九道電子束，所以產能提升了
600%，可以大大減少晶圓質量分析所用的時間。

目前HMI eScan1000可以用於5nm及以下先進工藝的晶圓測試，已經交付給客戶進行測試驗
證，未來ASML還會推出光束更多的測試設備以滿足客戶對先進工藝的要求。

https://tech.sina.com.cn/roll/2020-05-28/doc-iircuyvi5561899.shtml

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Tags: 工程師

All Comments

By Carolina Franco
at 2020-05-31T07:57

All in 艾斯摩爾

By Una
at 2020-06-05T01:14

這個時候應該站出來說話了

By Charlie
at 2020-06-09T02:31

看來帆宣要暴漲了

By Joseph
at 2020-06-10T10:17

ASML Supply Chain

By Aaliyah
at 2020-06-11T15:55

檢測漲600% 然後??

By Sarah
at 2020-06-15T09:19

https://i.imgur.com/xjhaYL3.jpg

By Iris
at 2020-06-17T11:29

然後機台貴3~5倍啊

By Belly
at 2020-06-21T12:55

也就打到KLA吧？機台可以少擺一些

By Xanthe
at 2020-06-24T12:15

電子束量測速度跟保養時間是最大缺點

By Lydia
at 2020-06-26T05:04

漢微科QQ

By Lucy
at 2020-06-26T17:50

KLA:

By Delia
at 2020-06-30T20:17

eBeam的用途跟量產還是有差啦

By Annie
at 2020-07-01T09:57

綁架一起賣

By Rosalind
at 2020-07-04T21:56

英特爾笑而不語,用表情表示:

By Emma
at 2020-07-08T01:57

漢微科不是已經併到ASML了嗎

By Elvira
at 2020-07-11T03:43

然後讓更多晶圓廠知道自己產品多垃圾

By Catherine
at 2020-07-15T19:03

這家才是真正的半導體技術主導者

By Ina
at 2020-07-17T08:38

柯磊這塊本來就輸掉很久了檢測很多機台的這只是其中
之一

By Regina
at 2020-07-17T11:08

eBeam機台市占率比較高的還是AMAT

By John
at 2020-07-18T00:45

檢測機台超級多的啊

By Catherine
at 2020-07-18T03:14

All in ASML!

By Kyle
at 2020-07-22T09:46

願意來ASML的可以內推站內聊

By Carolina Franco
at 2020-07-24T19:59

樓上是在釣魚嗎?

By Eartha
at 2020-07-29T13:47

這家不就是台積電的老爸嗎

By Emily
at 2020-07-30T18:57

不用什麼更多晶圓廠用得到這套的也就那兩家...

By Ursula
at 2020-08-01T07:51

樓樓上錯囉台積是這家的老爸

By Charlotte
at 2020-08-02T06:22

高精度留給GG買其他落後有兩個世代的買去只會掃出一堆
false

By Puput
at 2020-08-03T15:34

質量？

By Rosalind
at 2020-08-05T20:01

產能漲6倍的意思是機台以後會少買，但漲價嗎？

By Isabella
at 2020-08-06T23:39

high light項目漲600%

By Quintina
at 2020-08-10T08:06

GG之前就入股ASML啦

By Edith
at 2020-08-13T08:49

良率100%做啥檢測

By Olivia
at 2020-08-18T06:29

amat ebeam team表示：終於可以少顧一些了

By Hedda
at 2020-08-19T11:01

介面可以人性化一點嗎

By Steve
at 2020-08-23T21:44

KLA： Q_Q

By Freda
at 2020-08-28T07:05

gg比較操還是asml比較操

By Freda
at 2020-09-01T15:24

然後薪水一樣低

By Delia
at 2020-09-02T19:04

東京X力的track比較操

By Damian
at 2020-09-04T22:26

然後薪水..

By Skylar Davis
at 2020-09-08T17:07

所以機台數量未來只剩1/6

By Cara
at 2020-09-10T00:48

可是這個產出本來就很弱啊，沒增加一個數量級敢說嘴？

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