CMP設備應用 - 工程師

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By Quanna
at 2014-10-28T21:39

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不好意思
因PO在它板沒人理我

因在做IC產業研究 遇到些疑問
想請教了解CMP設備的大大

傳統IC製程有用到CMP　最近當紅的3D-IC也有用到CMP
這兩種製程的CMP都不同嗎??
還是只是研磨　都可用同款CMP? (連裡面的零件都一樣)

謝謝!!

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All Comments

Gary avatar
By Gary
at 2014-10-29T11:14
都可以
Ursula avatar
By Ursula
at 2014-11-01T03:39
研磨用在很多地方唷
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By Mia
at 2014-11-05T00:59
譬如說磨馬鈴薯皮
Megan avatar
By Megan
at 2014-11-09T19:38
沒人推薦磨豆漿嗎
Christine avatar
By Christine
at 2014-11-11T15:02
磨鐵路
Victoria avatar
By Victoria
at 2014-11-16T05:51
機台可以共用啊,3DIC的CMP製程要克服的點跟前端不太一
樣

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By Carolina Franco
at 2014-10-28T19:33
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Andrew avatar
By Andrew
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By Regina
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By Sierra Rose
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