CMP設備應用 - 工程師

不好意思
因PO在它板沒人理我

因在做IC產業研究 遇到些疑問
想請教了解CMP設備的大大

傳統IC製程有用到CMP　最近當紅的3D-IC也有用到CMP
這兩種製程的CMP都不同嗎??
還是只是研磨　都可用同款CMP? (連裡面的零件都一樣)

謝謝!!

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