EUV成為ASML金雞母、台積電與三星代工競 - 工程師

EUV成為ASML金雞母、台積電與三星代工競爭趨白熱化

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EUV設備成為ASML的金雞母，更是7奈米、5奈米先進晶圓製程的利器。

全球唯一EUV極紫外光機設備生產商，也就是荷蘭的ASML公司剛公布2020年第二季淨利潤
比一年前成長倍增，完全受惠於台積電及三星電子在晶圓代工的先進製程競賽。

ASML在7月5日宣布，2020年第二季銷售額為33.26億歐元，淨利潤為7.51億歐元。其銷售
額較上一季的24.41億歐元增長了36％，其淨利潤則由3.91億歐元增長了92％。若與2019
年同期相比，其銷售和營業利潤分別增長了30％和57％。

ASML將於2020年銷售交付35台EUV，絲毫不受COVID-19影響。該公司預測邏輯半導體設備
的銷售將同比增長，7奈米正成為主流，5奈米正在擴展預計2021年成為熱門；而記憶存儲
設備的銷售將同比增長30％，顯示記憶存儲器行業正在從低迷中復甦。

ASML維持2020年EUV設備（35台）的出貨量預測，稱EUV光刻設備正進入批量生產時代。預
計2021年EUV的出貨量將增至45～50輛。

隨著半導體微加工技術發展到5奈米，當前的ArF曝光設備無法將微加工技術用於7奈以下
，而EUV由於成本高負擔，這導致主要的代工公司如格羅方德放棄了基於EUV的半導體市場
。

目前，引入EUV設備的代工廠商僅剩三星電子和台積電。但ASML收到的訂單太多，無法滿
足這兩家公司的需求。同時，三星電子計劃將EUV應用擴展到DRAM等存儲半導體生產，還
有SK海力士也在考慮引入EUV，因此ASML的EUV業務還會再穩定增長。而英特爾預定2021年
才會導入EUV於7奈米製程。

晶圓代工方面，基於ASML的EUV設備的推出，三星電子正在縮小與台積電的差距，據
TrendForce數據顯示，到2020年第二季，台積電仍是全球晶圓代工龍頭，有51.5%市佔，
比上一季下降2.6％；三星有18.8％居第二，比上一季增長了2.9%。其他排名分別是格羅
方德（7.4%）、聯電（7.3%）、中芯國際（4.8%）。

半導體行業專家預測，隨著台積電與三星都預定3奈米計畫2022年規模量產，台積電表示3
奈米將採全新節點設計而不是全縮節點，而三星表示3奈米將採GAA新設計。由此看來，他
們之間競爭將進一步加劇。

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