FAB 中曝光機 (scanner) 的市佔率 - 工程師

Una avatar
By Una
at 2017-03-10T22:37

Table of Contents

想請問在黃光區的先進問題

一說到曝光機台廠商，原本都只想到 ASML

尤其是在先進製程上，下一代 EUV 大概也得靠他們


不過最近好奇看 NIKON 193i 的機台，才發現性能和 ASML 差不多


以下是兩家最新的193i機台比較：

ASML NXT:1980Di NIKON NSR-S631E
NA 0.85-1.35 1.35
Resolution ≦38nm ≦38nm
Field size 26*33 mm 26*33 mm
Overlay
(Single machine) ≦1.6 nm ≦1.7 nm
(Matched machine) ≦2.5 nm ≦2.3 nm
Throughput(96 shots) ≧275 WPH ≧270 (optional) WPH

Ref:
http://www.nikon.com/products/semi/lineup/pdf/NSR-S631E_e.pdf

https://goo.gl/EhfIsL


請問在業界這兩台都有人在用嗎?

還是先進製程主要仍以 ASML 居多? (N家幾乎都日本半導體廠自用?)


--

All Comments

Cara avatar
By Cara
at 2017-03-15T11:55
看規格就曝的出來要一堆工程師幹嘛
Susan avatar
By Susan
at 2017-03-16T23:41
ASML居多吧,NIKON 應該是過去dry時代的產物
Hardy avatar
By Hardy
at 2017-03-18T17:55
NIKON還可以賺面板的曝光機 超貴的
Mia avatar
By Mia
at 2017-03-22T23:10
有人買Nikon就不會搞到Nikon要裁1000人了
Aaliyah avatar
By Aaliyah
at 2017-03-24T20:17
twin scan & alignment吧
Gary avatar
By Gary
at 2017-03-27T11:55
谷歌新聞a家市占有九成，減一點也有七八成吧
Agnes avatar
By Agnes
at 2017-03-28T10:46
193還會往下做浸潤式，還有有兩個Chuck,不知道n家的有
嗎？如果有，品質穩定嗎?
Bethany avatar
By Bethany
at 2017-03-31T08:58
很多東西是spec沒法告訴你的，現在run45為了cost down是
可以考慮用，但是一般一直做的FAB現在折舊也差不多了，幹
嘛還要買這種來重新折舊，更何況還要做mixmatch,怎麼算
都不划算
Bethany avatar
By Bethany
at 2017-04-04T19:44
面板的市佔Nikon就真的很高 特別是10代以上的超大面板是獨占
Margaret avatar
By Margaret
at 2017-04-09T04:34
在日本半導體廠確實N社和C社的曝光機很多，因為便宜...
.
Lucy avatar
By Lucy
at 2017-04-10T09:49
A社強的還有軟體阿..GRIDMA/DOMA
Zanna avatar
By Zanna
at 2017-04-14T03:13
別說啦
Damian avatar
By Damian
at 2017-04-14T21:48
天后就一堆Nikon
Dora avatar
By Dora
at 2017-04-16T15:30
在半導體先進製程曝光機方面ASML獨霸，其他都是撿屑屑吃
Victoria avatar
By Victoria
at 2017-04-19T09:35
天后nikon都低階dry的
Noah avatar
By Noah
at 2017-04-21T04:52
當你個版？還是當成台積版？
Hedda avatar
By Hedda
at 2017-04-24T12:12
Nikon immersion 機台便宜但可靠度不佳
Isla avatar
By Isla
at 2017-04-28T23:22
天后宮有n牌泡水機的喔。。。
Isabella avatar
By Isabella
at 2017-04-29T13:10
twin chuck WPH就電爆別家
Aaliyah avatar
By Aaliyah
at 2017-04-29T18:49
twin stages的throughput不見得比較強，個人覺得差是差
在asml的機差非常的小，還有鏡面不會霧化
Callum avatar
By Callum
at 2017-05-03T13:56
當年拉開差距，靠的就是twinstage

台積寶寶占全台新生兒1％

Anthony avatar
By Anthony
at 2017-03-10T19:31
企業界催生 不落人後－台積寶寶占全台新生兒1％ 工商時報【涂志豪、鄭淑芳、吳筱雯╱台北報導】 台積電增產報國不落人後，近幾年每年誕生的「�� ...

聯發科工程師想跳槽　結果竟是兩頭空

Robert avatar
By Robert
at 2017-03-10T18:29
1. 主管純以提出log就告訴 , 顯然是資方權力過大 , 檢方在這顯有偏資方 所以極可能是二間公司有競爭關係 , 也可能是有什麼眼線 , 認為成案機會高 ...

聯發科工程師想跳槽　結果竟是兩頭空

Andrew avatar
By Andrew
at 2017-03-10T17:30
http://tinyurl.com/j2wowyy 聯發科工程師想跳槽　結果竟是兩頭空 2017/03/07 14:57?14359 聯發科(2454)魏姓前資深工程師，想要跳槽到其他公司，從公司下載他�� ...

關於旺宏擴散設備

Cara avatar
By Cara
at 2017-03-10T16:45
最近錄取旺宏擴散設備（一廠） 小弟是研發替代役錄取的 想請教公司風氣如何 請教各位前輩大大 謝謝大家 --

德州儀器 科技菁英培訓是做些什麼??

Franklin avatar
By Franklin
at 2017-03-10T16:22
※ 引述《wer11 (小陳)》之銘言： : 德州儀器 : 有看到有開技術行銷工程師的職缺 : 徵才會有提到要去中國上海分公司輪調，與國際接軌 : 科技菁英培訓�� ...