你如果 IMP 顧medium 應該比 high current 相對輕鬆(現在機台應該都apply 的single wafer 以前是 wheel chamber,半夜傳送當機會驚嚇一整夜,一次 MO 可能報廢13 PCs),另外medium beam current 較小 所以 PM life time 長,也比較少有問題,好好做gg不會虧待你的!
Faithe2020-07-06
long ago IMP 分為兩個team,high current team(有Varian、apply,varian現今已被apply併購),medium currentteam 含high Energy (機台為 varian與Axcelis) ,兩team進去最後看分配到哪
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