Overlay control 書籍 - 工程師

各位好~

小弟有幸錄取國內公司黃光製程RD

但是該公司學習資源不多，加上大家都很忙碌

所以想說自學比較好

想特別針對Overlay control的領域

包含ASML LIS, W3F3 model 數學模型

Aberration 對 Overlay影響


目前我只找到這本書:
Principles of Lithography, Third Edition

不知道大家有沒有推薦的書籍~

英文書籍佳

謝謝大家~

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