Overlay control 書籍 - 工程師
By Elizabeth
at 2018-09-02T01:00
at 2018-09-02T01:00
Table of Contents
各位好~
小弟有幸錄取國內公司黃光製程RD
但是該公司學習資源不多,加上大家都很忙碌
所以想說自學比較好
想特別針對Overlay control的領域
包含ASML LIS, W3F3 model 數學模型
Aberration 對 Overlay影響
目前我只找到這本書:
Principles of Lithography, Third Edition
不知道大家有沒有推薦的書籍~
英文書籍佳
謝謝大家~
--
小弟有幸錄取國內公司黃光製程RD
但是該公司學習資源不多,加上大家都很忙碌
所以想說自學比較好
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包含ASML LIS, W3F3 model 數學模型
Aberration 對 Overlay影響
目前我只找到這本書:
Principles of Lithography, Third Edition
不知道大家有沒有推薦的書籍~
英文書籍佳
謝謝大家~
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工程師
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