PVD設備 濺鍍 材質限制 - 工程師

Emily avatar
By Emily
at 2021-03-08T23:04

Table of Contents

請問 各位先進

我司有一台設備現在鍍膜成分主要是鍍氮化鈦或是氮化碳薄膜。

設備功能有弧靶、柱靶、中高頻電源供應器。

如將設備把靶材更換、氣氛更換，是否可以拿來鍍透明導電膜Al2O3、AZO、ITO之類的?

設備需要做什麼修改嗎? 設備工程師說這是不可能的??? 卻回答不出原因。

是否有設備商或是有經驗的相關先進，可以請益。



--

All Comments

Aaliyah avatar
By Aaliyah
at 2021-03-09T11:17
1.問原廠 2.你應該是買了二手機，所以不敢問原廠。
Xanthe avatar
By Xanthe
at 2021-03-12T19:46
自己的功課自己做
Carol avatar
By Carol
at 2021-03-14T15:27
以小弟個人見解，要更改機台run 其他製程，並不是簡單
更改靶材氣體等材料就可以達成這麼簡單，以PVD來說，能
量（generator)、真空度（pump）、靶材純度（target）與
氣體流量控制(MFC)、副產物的清除(scrubber),外加一些
細項更改，不是這麼簡單可以全部都考慮到的，半導體設
備之所以難就是因為他的複雜度，我們一般設備人員很難
有全面的資訊以及料件去改機，所以樓上的才會說找原廠，
除非貴司能承受改機失敗所浪費的時間與費用，如果要省費
用起碼也要找second source的廠商去評估吧！
Margaret avatar
By Margaret
at 2021-03-18T10:50
你不會把target裝上去試嗎？
Sarah avatar
By Sarah
at 2021-03-19T16:22
會怕還敢買機器自己retrofit
Anonymous avatar
By Anonymous
at 2021-03-21T08:57
真的是該試一下看看效果，品質能接受不就可以了。
Genevieve avatar
By Genevieve
at 2021-03-22T04:38
自己的專案自己做
Genevieve avatar
By Genevieve
at 2021-03-24T13:00
你肯定沒念過研究所
Elvira avatar
By Elvira
at 2021-03-27T01:28
自己不會試試看？
Hedwig avatar
By Hedwig
at 2021-03-29T02:32
大一生？
Caroline avatar
By Caroline
at 2021-03-30T05:18
484你公司老闆又在異想天開惹? QQ
Ula avatar
By Ula
at 2021-04-01T22:53
可以
Ida avatar
By Ida
at 2021-04-02T07:39
可以啦
Anonymous avatar
By Anonymous
at 2021-04-03T17:06
看是反應式濺鍍還是icp的
Yuri avatar
By Yuri
at 2021-04-04T23:10
遲滯曲線抓一下
Tom avatar
By Tom
at 2021-04-09T21:38
花錢請vendor retrofit啊 用嘴巴問機台就自己會改好了嗎
Carolina Franco avatar
By Carolina Franco
at 2021-04-13T02:52
DC? RF?
Zenobia avatar
By Zenobia
at 2021-04-13T18:39
是在反串？！

優力國際安全認證公司 材料實驗室

Ula avatar
By Ula
at 2021-03-08T21:01
各位千萬年薪大大晚安 最近有收到UL優力國際安全認證公司的面試邀約 材料研究室的chemist 這個職缺太少看到了…… 想請問大家這家公司最近的 1.工作福利 2.加班情形（說是很少加班，但查到的文章都是安規工程師或是電路相關的工程師） 3.是否也是定期裁員（查2017～2018年有文章紀錄） 謝謝大家 ...

硬體研發工程師

Iris avatar
By Iris
at 2021-03-08T20:10
各位大大好 收到一封沒有詳細闡述工作內容只有職稱寫硬體研發工程師的面試邀約 回信有意願參加後 HR來信詢問是否有使用 Pro/e軟體的經驗 上網搜尋發現是畫機構圖的軟體 但小女我是電路設計的硬體工程師... 和HR詢問了詳細的職缺工作內容，沒有得到回覆 由於小女資歷尚淺 想問問版上前輩 我是不是被HR找 ...

軟體和IC Design RD可以做到幾歲

Liam avatar
By Liam
at 2021-03-08T19:48
最近在這個領域工作一陣子以後 總覺得技術變動的有點快 新的方法和技術一直出 總難免擔心自己的經驗和技術會失去價值 想請問各位先進 對軟體工程或是IC設計的RD來說 如果先不計入管理職延壽的話 一般來說，這個領域可能做RD做到退休嗎？ - ...

網頁設計/平面設計/插畫設計

Hedwig avatar
By Hedwig
at 2021-03-08T18:45
文章發表後即代表您已閱讀過置底的 板務規範 和 發文規範。 以下各項 ◎ 欄位為必填，請確實填寫； 各項 ⊙ 欄位為選填，請按需求填寫。 �� ...

高通準CEO夜不能寐　晶片看缺到年底

Joe avatar
By Joe
at 2021-03-08T18:37
※ [本文轉錄自 Reewalker 信箱] 作者: qwa317 (無) 看板: Stock 標題: [新聞] 高通準CEO夜不能寐　晶片看缺到年底 時間: Mon Mar 8 08:55:54 2021 原文標題： 高通準CEO夜不能寐　晶片看缺到年底 艾蒙6月將掌舵　供應鏈危機提前燒腦 ...