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PVD設備 濺鍍 材質限制 - 工程師

Emily avatarEmily · 2021-03-08

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請問 各位先進

我司有一台設備現在鍍膜成分主要是鍍氮化鈦或是氮化碳薄膜。

設備功能有弧靶、柱靶、中高頻電源供應器。

如將設備把靶材更換、氣氛更換，是否可以拿來鍍透明導電膜Al2O3、AZO、ITO之類的?

設備需要做什麼修改嗎? 設備工程師說這是不可能的??? 卻回答不出原因。

是否有設備商或是有經驗的相關先進，可以請益。



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工程師

All Comments

Aaliyah avatarAaliyah2021-03-09
1.問原廠 2.你應該是買了二手機，所以不敢問原廠。
Xanthe avatarXanthe2021-03-12
自己的功課自己做
Carol avatarCarol2021-03-14
以小弟個人見解，要更改機台run 其他製程，並不是簡單
更改靶材氣體等材料就可以達成這麼簡單，以PVD來說，能
量（generator)、真空度（pump）、靶材純度（target）與
氣體流量控制(MFC)、副產物的清除(scrubber),外加一些
細項更改，不是這麼簡單可以全部都考慮到的，半導體設
備之所以難就是因為他的複雜度，我們一般設備人員很難
有全面的資訊以及料件去改機，所以樓上的才會說找原廠，
除非貴司能承受改機失敗所浪費的時間與費用，如果要省費
用起碼也要找second source的廠商去評估吧！
Margaret avatarMargaret2021-03-18
你不會把target裝上去試嗎？
Sarah avatarSarah2021-03-19
會怕還敢買機器自己retrofit
Anonymous avatarAnonymous2021-03-21
真的是該試一下看看效果，品質能接受不就可以了。
Genevieve avatarGenevieve2021-03-22
自己的專案自己做
Genevieve avatarGenevieve2021-03-24
你肯定沒念過研究所
Elvira avatarElvira2021-03-27
自己不會試試看？
Hedwig avatarHedwig2021-03-29
大一生？
Caroline avatarCaroline2021-03-30
484你公司老闆又在異想天開惹? QQ
Ula avatarUla2021-04-01
可以
Ida avatarIda2021-04-02
可以啦
Anonymous avatarAnonymous2021-04-03
看是反應式濺鍍還是icp的
Yuri avatarYuri2021-04-04
遲滯曲線抓一下
Tom avatarTom2021-04-09
花錢請vendor retrofit啊 用嘴巴問機台就自己會改好了嗎
Carolina Franco avatarCarolina Franco2021-04-13
DC? RF?
Zenobia avatarZenobia2021-04-13
是在反串？！