再生水導入製程 台積電領先全球同業 - 工程師

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再生水導入製程 台積電領先全球同業

2021/02/27 05:30

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水情拉警報，台積電開全球先河，今年可望將再生水導入南科廠先進製程中。
（記者洪友芳攝）

〔記者洪友芳／新竹報導〕水情拉警報，台積電（2330）去年啟動南科再生水廠建廠工程
加快施工腳步，預計今年3月完成主體建築、年底完工啟用，致力將工業廢水與民生污水
淨化，產出優於進水品質要求的再生水，並導入製程，屆時將成為全球第一個導入工業再
生水的晶圓廠，開全球半導體業先河。

台積電自許朝綠色製造發展，持續透過「節流」與「開源」並行，投入資源與人力強化用
水效率，打造高效能與周密的水管理網絡。為持續降低自來水用水量，積極使用工業廢水
與民生污水的再生水，台積電2015年開始發展再生水技術，2016年打造全國第一條半導體
工業再生水試產線，回收處理工業放流水。

台積電去年啟動南科再生水廠建廠工程，為台灣第一座民營再生水廠，預計今年3月完成
主體建築，隨後將安裝系統、啟動試產並持續調校，致力產出優於進水品質要求的再生水
。

再生水廠預計今年底通水，未來最高每天可供應2萬噸水量。

台積電還以全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術，取代添加化學藥劑的混凝沉降法，處理
半導體封裝製程大宗廢水晶背研磨廢水，節省化學藥劑用量，同時產製品由原本的無機性
污泥，轉化為有價的高純度工業級矽產品。

台積電指出，晶背研磨廢水資源化系統去年7月在先進封測3廠正式啟動，截至今年1月共
回收逾1.5萬公噸晶背研磨廢水，成功產製30公噸工業級矽產品。台積電預計後年擴大導
入目前興建中的先進封測2廠第二期、先進封測6廠，朝資源永續的目標持續邁進。

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