力追台積電!英特爾公布4奈米技術細節 - 工程師

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By Mason
at 2022-07-05T09:27

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力追台積電!英特爾公布4奈米技術細節 拚2025年製程領先


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記者高兆麟/綜合報導

近來國際晶圓代工龍頭三廠,台積電、英特爾、三星動作頻頻,在台積電在技術論壇大秀

2奈米製程和支援3奈米的FINFLEX技術後,三星也在上月底搶先宣布量產3奈米,而英特爾

則在今日宣布Intel 4製程技術採EUV,相較Intel 7,相同功耗提升20%以上的效能,英

特爾也指出,這項技術將帶領英特爾2025年重回製程領先地位。




英特爾近期於美國檀香山舉行的年度VLSI國際研討會,公布Intel 4製程的技術細節。相

較於Intel 7,Intel 4於相同功耗提升20%以上的效能,高效能元件庫(library cell)

的密度則是2倍,同時達成兩項關鍵目標:它滿足開發中產品的需求,包括PC客戶端的

Meteor Lake,並推進先進技術和製程模組,有望帶領英特爾2025年重回製程領先地位。




Intel 4於鰭片間距、接點間距以及低層金屬間距等關鍵尺寸(Critical Dimension),

持續朝向微縮的方向前行,並同時導入設計技術偕同最佳化,縮小單一元件的尺寸。透過

FinFET材料與結構上的改良提升效能,Intel 4單一N型半導體或是P型半導體,其鰭片數

量從Intel 7高效能元件庫的4片降低至3片。綜合上述技術,使得Intel 4能夠大幅增加邏

輯元件密度,並縮減路徑延遲和降低功耗。




Intel 7已導入自對準四重成像技術(Self-Aligned Quad Patterning、SAQP)和主動元

件閘極上接點(Contact Over Active Gate、COAG)技術來提升邏輯密度。前者透過單次

微影和兩次沉積、蝕刻步驟,將晶圓上的微影圖案縮小4倍,且沒有多次微影層疊對準的

問題;後者則是將閘極接點直接設在閘極上方,而非傳統設在閘極的一側,進而提升元件

密度。Intel 4更進一步加入網格布線方案(gridded layout scheme),簡單化並規律化

電路布線,提升效能同時並改善生產良率。




隨著製程微縮,電晶體上方的金屬導線、接點也隨之縮小;導線的電阻和線路直徑呈現反

比,該如何維持導線效能抑是需要克服的壁壘。Intel 4採用新的金屬配方稱之為強化銅

(Enhanced Cu),使用銅做為導線、接點的主體,取代Intel 7所使用的鈷,外層再使用

鈷、鉭包覆;此配方兼具銅的低電阻特性,並降低自由電子移動時撞擊原子使其移位,進

而讓電路失效的電遷移(electromigration)現象,為Intel 3和未來的製程打下基礎。





將光罩圖案成像至晶圓上的最重要改變,可能是在於廣泛的使用EUV來簡化製程。英特爾

不僅在現有良好解決方案中的最關鍵層使用EUV,而且在Intel 4的較高互連層中使用EUV

,以大幅度減少光罩數量和製程步驟。其降低製程的複雜性,亦同步替未來製程節點建立

技術領先地位及設備產能,英特爾將在這些製程更廣泛地使用EUV,更將導入全球第一款

量產型高數值孔徑(High-NA)EUV系統。




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All Comments

Kelly avatar
By Kelly
at 2022-07-04T23:52
10 奈米 Enhanced SuperFin正名為 Intel 7
7奈米正名為Intel 4,之後分別為Intel 3、Intel 20A
、Intel 18A
Audriana avatar
By Audriana
at 2022-07-08T02:42
翻譯:2025之前都無法領先
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By James
at 2022-07-04T23:52
領先的前題是對手都沒進步wwww
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By Isabella
at 2022-07-08T02:42
一年進步一代 做得到的話是真的很神
Edith avatar
By Edith
at 2022-07-04T23:52
但我覺得太唬爛了
Doris avatar
By Doris
at 2022-07-08T02:42
新老闆上任就能進步這麼快 那前老闆是都在睡?
Edwina avatar
By Edwina
at 2022-07-04T23:52
聽起來很厲害
Robert avatar
By Robert
at 2022-07-08T02:42
2025年追上對手現在的進度嗎?
Candice avatar
By Candice
at 2022-07-04T23:52
學聰明了不再老實用nm 用intel 4XDD
Christine avatar
By Christine
at 2022-07-08T02:42
你當台積電原地等你嗎
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By Jacob
at 2022-07-04T23:52
Intel4 到2025 對上的是三星的gaa2 會有贏面嗎?
Bennie avatar
By Bennie
at 2022-07-08T02:42
2026還是轉單對嗎?
Charlotte avatar
By Charlotte
at 2022-07-04T23:52
先畫餅啊 做不做的到再說
Susan avatar
By Susan
at 2022-07-08T02:42
intel4又不是4奈米
Elvira avatar
By Elvira
at 2022-07-04T23:52
intel 4 IPC 可是三家中最高的好嗎~說贏不了也太
好笑 都可以衝到6GHz了
Damian avatar
By Damian
at 2022-07-08T02:42
人家在做下世代設計 英特爾回去做代工
感覺怪怪的
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By Blanche
at 2022-07-04T23:52
GG 5nm也不是真的5nm阿 XD

景氣反轉 人事凍結

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By Charlotte
at 2022-07-05T07:32
這樣說你就是太不瞭解產業與股市了. 當去年臉書改名成元宇宙,NASDAQ幾乎是高點了. 一堆人興奮的跑去買股票. 現在祖克柏警告,接下來將出現近代史上最嚴重的經濟衰退之一。 還有可能會裁員. 大概離低點也不遠了. 這經濟大概又要開始走一波上漲循環. ※ 引述《chengcti (版主請投我一票!)》之銘言 ...

美國FCC致函Google及蘋果!要求App商店刪

Andy avatar
By Andy
at 2022-07-05T05:48
2022年6月29日17︰09 美國FCC致函Google及蘋果!要求App商店刪除TikTok 美國聯邦通信委員會(Federal Communications Commission,FCC)專員Brendan Carr昨 (28)日致函Google和蘋果,要求這兩家科技公司將社群平台TikTok從其Ap ...

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Todd Johnson avatar
By Todd Johnson
at 2022-07-04T23:25
畢業新鮮人,年資剛滿13個月的 SSD FW RD 考績A 想問問全聯工作的學長姐,分紅會不會被摸頭 啊我是說全聯喔 這樣應該沒有問題吧 - ...

景氣反轉 人事凍結

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By Christine
at 2022-07-04T23:09
最近在 review Pandamp;L 各BU 都反應 準備下個風暴來臨 原本缺料問題導致供不應求 現在下游拉貨變的很差 可能會變成供過於求 人事也開始凍結 請做好撞擊前的準備 - ...

ASML US 控制工程師面試心得分享

Robert avatar
By Robert
at 2022-07-04T23:09
前陣子小弟我有幸錄取在美國的ASML,由於一直受惠於ptt多年,小弟又秉持著取之於社 會,也同樣回饋給社會的理念,忙碌之餘,趁腦海中還有一些印象,分享一些面試心得跟 一路上的個人感想,希望有機會能幫助到版上有需要的人,尤其是孤身在美國求職的留學 生們,或是正在準備面試海外公司的鄉民。就算都不是的話也沒關係,就 ...