台積電協力廠：全力配合「綠色製造」 - 工程師

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台積電協力廠：全力配合「綠色製造」

2021-04-27 01:08 經濟日報 / 記者鐘惠玲、尹慧中、李珣瑛╱台北、新竹報導

台積電（2330）要求供應鏈共同推動「綠色製造」，包括台灣半導體矽晶圓龍頭環球晶、
無塵室相關供應商漢唐及帆宣、極紫外光（EUV）顯影機台獨家供應商艾司摩爾（ASML）
等來自國內外的台積電協力廠均強調，「全力配合衝刺綠色製造」。

環球晶強調，希望經濟與科技發展應與環保兼顧。除了落實減量（Reduce）、再利用（
Reuse）與回收再利用（Recycle）等「3R」之外，更注重第四個R，也就是「Redesign」
，使產品製程在設計階段就能預先規畫其具有三個R等循環效果，並持續提升汙染防制的
技術能力。

環球晶強調，未來的目標是各廠節電率大於1％，溫室氣體排放量削減大於1％，廢棄物產
出減量大於2％。

台積電認證的優良供應商多已超前部署相關綠色機台設計的開發，甚至早在設備開發初期
就合作設計完成相關目標，特別是外商設備公司。

艾司摩爾亞太區策略行銷高級總監Boudewijn Sluijk接受訪問也提到，隨著下世代製程持
續微縮，系統必須更精準、速度更快，艾司摩爾已和客戶合作著手下世代EUV微影系統（
又稱High-NA EUV）開發，同時用電效能也同步優化。

漢唐總經理陳柏辰表示，無塵室的工程建設耗能並不大，漢唐會從工程設計上著手，配合
採購符合綠色標章的的產品，進行工程施做。

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