微影技術流程 - 工程師

By Quintina
at 2016-02-20T14:18

Table of Contents

各位先進好!
小弟沒進過半導體廠目前在做產業資訊

在網路找到微影技術流程:
曝光>顯影>硬烤>UV硬化>蝕刻>去除光阻

請教:
網路資訊是..
硬烤:光阻硬化
UV硬化:利用UV使光阻硬化

這兩個有何差別呢?? 還是有新的方案?

謝謝!!!

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All Comments

By Adele
at 2016-02-25T08:10

硬烤就是把曝完的水份烤乾，UV搭配光罩轉移圖型

By Ina
at 2016-02-28T07:11

以負光阻為例 UV照到他的化學鍵結會使光阻變成聚合物
而且這個網路上都找的到吧..

By Irma
at 2016-03-02T12:18

光阻看是正光阻還是負光阻ㄚ

By Tracy
at 2016-03-02T19:36

要先上光阻

By Necoo
at 2016-03-04T19:42

硬烤是放oven用溫度硬化 UV硬化是用紫外光定型

By Zenobia
at 2016-03-09T15:51

照完UV會更density, 把H帶出來

By Rebecca
at 2016-03-11T08:15

細節有點複雜。不過，基本上1F的觀念和事實是不一致的！

By Anonymous
at 2016-03-14T22:04

光罩是在"曝光"時使用的。

By Gilbert
at 2016-03-15T04:28

前者在機構內加熱烤硬.後者與UV光反應變硬.

By Lauren
at 2016-03-19T23:26

機台內的熱板(只加熱,没噴東西), 以名稱/步驟而言, 至少
就有PEB, HB, SB...看原po的作業要做到多精細？基本的...
前樓的也許就夠了~

By Hedy
at 2016-03-23T13:39

一般光阻曝光會用UV聚合防焊漆則會多一道硬烤讓他牢牢留住
跟你用的材料有關，可以從成分去了解。

By Todd Johnson
at 2016-03-24T11:14

面板的平坦層光阻是一層留在成品上的膜硬烤後照UV是為了
脫色讓樹脂更透明

By Brianna
at 2016-02-20T11:14

※ 引述《csfgsj (真理不滅)》之銘言： : ※ 引述《helpmeplz (Help me plz!)》之銘言： : : 有人面試過這間的嗎 : : 有查到是帆宣的子公司，但是網路上資訊太�� ...

By Megan
at 2016-02-20T10:58

代Po 請問板上各位，小弟最近收到Samsung Austin semiconductor的面試機會職位是製程整合 or 產品工程師 Glassdoor查到的評價多半不好 (工時超長/壓力大) 想�� ...

By Megan
at 2016-02-20T10:28

人人都有缺點，但明知缺點卻不想改？只想逃避？試問自己能逃得了多久？看過ㄧ堆木納、自閉的工程師，服務業，老闆他們還不是活的好好的 ...

By Ula
at 2016-02-20T09:38

※ 引述《helpmeplz (Help me plz!)》之銘言： : 有人面試過這間的嗎 : 有查到是帆宣的子公司，但是網路上資訊太少 : 該不會是那種駐台積聯電的廠商吧？ � ...

By Joseph
at 2016-02-20T00:30

最近有機會去面試瑞昱測試工程師MF 的職缺工作內容是 : 負責通訊網路相關產品測試程式開發及生產線量產維護想請問面試內容大約是什麼? 是否有� ...