微影時無法分辨二氧化矽與矽的差異 - 工程師

Thomas avatar
By Thomas
at 2018-02-10T14:46

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不好意思

這類問題我認為有業界經驗的人會比較清楚

所以前來詢問

這個月我進行微感測器的製作

製程僅三道光罩製程

基板有事先沉積5000A的二氧化矽

目前進度是僅完成第一道光罩製程

即是：微影→BOE蝕刻→離子佈值→退火

目前於第二道光罩製程的微影上卡關

https://i.imgur.com/SyajyDr.jpg

https://i.imgur.com/KszApqi.jpg

將目前的試片

直接用顯微鏡照射能看到淺淺的圖型

但是一旦塗佈上光阻

就什麼都看不到了

https://i.imgur.com/lPyVeme.jpg

https://i.imgur.com/GYdFRq2.jpg

上面兩張圖是對準晶圓邊緣的校準記號

但是顯微鏡顯示卻是一片漆黑

原本想說因為我使用的是厚光阻AZ4620

就去中山借用了微影系統

他們使用的是AZ1500

塗佈後光阻厚度僅1.5um

但是當他們光罩對準機的光學顯微鏡一打下去

同樣是一片雪白

無法分辨矽與二氧化矽的差異

可是後來想想要是真的無法分辨矽與二氧化矽

那目前市面上的MOSFET到底是怎麼做出來的？

我認為問題一定出在我製程的某個環節上

不好意思打擾大家

謝謝各位

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All Comments

Delia avatar
By Delia
at 2018-02-10T17:48
5000A太淺了吧 覺得應該看不到...
Valerie avatar
By Valerie
at 2018-02-14T12:12
光阻的折射率跟二氧化矽太接近了
Ida avatar
By Ida
at 2018-02-16T23:52
就機台差異啊 當你有一台6000萬的機台 你就不會有這
個問題了 學校呵呵
Andrew avatar
By Andrew
at 2018-02-18T06:05
列幾種可能：（1）第一道蝕刻吃太淺，導致align mark蓋
上光阻後不明顯。（2）anneal的thermal budget沒算好，
導致oxide還是amorphous。(3)確認第二道mask 是不是沒la
yout align mark，很蠢，但是真的有可能……(4)OM or SE
M設定錯誤，OM焦距對比調看看/SEM 能量調高點
Franklin avatar
By Franklin
at 2018-02-21T16:02
去問邱主任的實驗室學生
Cara avatar
By Cara
at 2018-02-25T20:03
我覺得是p大說的3，la mark 問題 沒有或線寬太小
Oliver avatar
By Oliver
at 2018-03-01T23:29
1.5um 很厚好嗎...另外你跑錯地方了
Hamiltion avatar
By Hamiltion
at 2018-03-05T21:57
OM的DOF是nm等級的~你蓋那麼厚看不到前層是很正常
George avatar
By George
at 2018-03-08T01:23
4樓亂教 SEM只看的到當層~跟SEM一點關係都沒有
Faithe avatar
By Faithe
at 2018-03-08T18:35
有沒有試過把光阻拔掉再去看一下alignment mark?
Andrew avatar
By Andrew
at 2018-03-09T08:58
OM就看不到的話那和SEM就無關聯了
Damian avatar
By Damian
at 2018-03-10T00:42
在MEMS來說1.5um是薄沒錯
Sarah avatar
By Sarah
at 2018-03-13T01:21
你要不要試試看 整片不曝直接顯影 再拿去外面的OM或
Lauren avatar
By Lauren
at 2018-03-14T09:49
可能線寬太細了 外面強光看得到的話 可能把mark的線
寬加大試試
Damian avatar
By Damian
at 2018-03-17T16:13
Level sensor?
Yedda avatar
By Yedda
at 2018-03-18T23:14
反正只要不是蝕刻沒吃出來或光阻流不進去 一切好談
Doris avatar
By Doris
at 2018-03-23T03:17
aligment mark的線寬不會影響你實際成品的功能
Cara avatar
By Cara
at 2018-03-27T14:21
如果你的AM只有0.5um深，看不到很正常
Elma avatar
By Elma
at 2018-03-30T06:36
同意樓上S大 我的意思就是5000A要當AM太淺了吧QQ
Kelly avatar
By Kelly
at 2018-04-02T13:16
我之前學生時代做的MOS第二道光罩要對的AM是用metal ga
Zanna avatar
By Zanna
at 2018-04-06T14:49
te順便一起做的
Leila avatar
By Leila
at 2018-04-07T16:05
製作前段STI的PR都很薄，因為resolution才夠，1.5 um這
Tom avatar
By Tom
at 2018-04-10T02:43
種都是後段甚至是封裝業在使用的
Carol avatar
By Carol
at 2018-04-12T19:24
封裝都馬十幾um在摳的
Daniel avatar
By Daniel
at 2018-04-14T18:48
thermal budget不是這種用法吧?
Bennie avatar
By Bennie
at 2018-04-19T16:50
抱歉會錯意惹
Kumar avatar
By Kumar
at 2018-04-22T02:39
電子顯微鏡看不到前層拉 業界都是用雷射光源反射訊號對
Cara avatar
By Cara
at 2018-04-22T13:08
準然後用可見光量測結果拉
Linda avatar
By Linda
at 2018-04-24T21:13
你sio2離子佈值完就洗掉了吧，要一個KEY光罩先RIE基板吃
出key圖形方便後面對準
Kyle avatar
By Kyle
at 2018-04-25T02:06
以前用om勉強能看出500a深的Trench你這沒理由看不到
Michael avatar
By Michael
at 2018-04-25T08:10
學校機台的問題，有個方法是可以用負光阻搭配oxide
做微影變化
Anonymous avatar
By Anonymous
at 2018-04-26T16:15
GG的N28開始double paterning製程段就有這樣狀況
Ina avatar
By Ina
at 2018-04-28T17:06
上光阻時有三層(有一層含Si),要搭配不同蝕刻薄膜的連續製程
才能做完(我講的很模糊,關係人應該知道是哪段)
Zanna avatar
By Zanna
at 2018-05-01T07:04
多一道光罩隨便co個金屬上去當AM不就好惹
Ina avatar
By Ina
at 2018-05-05T06:30
一開始先在空地做alignment mark吧。選Au or Ti 加上
Caitlin avatar
By Caitlin
at 2018-05-07T23:35
lift off process
James avatar
By James
at 2018-05-10T06:18
想法同上層,但你後面的mark應該要打掉重來，有金屬當mar
k比較好
Rebecca avatar
By Rebecca
at 2018-05-10T21:16
看不懂Orz
Michael avatar
By Michael
at 2018-05-15T13:44
同樓上，建議先作一個第0層mark，金屬比oxide的辨識度高
Candice avatar
By Candice
at 2018-05-17T16:50
某S6大不要亂教好嗎...，STI層薄是因為DOF小，膜厚才薄
，還有FEOL也是有光阻厚的層，有些離子注入層是使用厚
光阻

關於是否要去對岸工作

Jessica avatar
By Jessica
at 2018-02-10T13:30
各位前輩大家好 先稍微介紹/複習一下小魯背景 115大氣系畢業 113洗上光電所畢業 運氣好做出電激發二維能帶邊緣型雷射元件 目前在某光通廠擔任製程(? 快滿一年 讓小魯我苦惱的是 最近因緣際會下 去對岸某光電大廠面試 對方開的offer 薪資跟之前版上的那篇高一些 福利差不多一樣 總之薪資福利加總起來年薪andgt;1000K NT 工時一周6天 職位大概也是免洗的製程工程師 (面試被問DFB ...

2018年企業最愛大學生：成大連莊，台科大

Yuri avatar
By Yuri
at 2018-02-10T13:17
沒有四中了 - ...

中科、南科兩大基地 培育4,000名AI人才

Kumar avatar
By Kumar
at 2018-02-10T10:45
https://udn.com/news/story/7240/2979294 2018-02-10 02:03經濟日報 記者宋健生／台中報導 「中科智慧機器人自造基地暨展示中心」昨（9）日開幕啟用，科技部長陳良基表示，透 過中科與南科的智慧機器人基地，預計未來四年可為台灣至少培育4,000名AI人才，以及 50家的新創公司。 陳良基強調，台中為智慧機械之都，大肚山沿線60公里範圍為精密機械 ...

有沒有尾牙抽葡萄的八卦？

Yuri avatar
By Yuri
at 2018-02-10T09:28
※ 引述《baseband112 (baseband)》之銘言： : 其實小弟我記得以前在某廠的尾牙 : 結果什麼副總加碼也是才幾十 : 我一直覺得都當道副總了年收7,8000萬以上應該有吧？ : 結果才捐幾十萬 : 感覺好像不太成對比 : ※ 引述《TSMCer (我愛張爺爺)》之銘言： : : 吃不到葡萄說葡萄酸 : : 以前 M 常用這句話堵鄉民的嘴.... : : 不知道現在大家會想去 M ...

台中工業區環隆科技-工時請益

Anthony avatar
By Anthony
at 2018-02-10T02:25
版上的各位前輩們好 小弟有幸拿到台中環隆科技的軟體程式設計工程師的offer 薪資待遇的部分我也可以接受 就是不太確定裡面的實際工時大概有多長 爬文發現好像都沒提到軟體程式設計工程師的工時 想請教一下有在裡面工作的前輩們 這個職位的實際工時大概每天做幾個小時 謝謝 - ...