日本一直把持光阻劑市場? - 工程師

Damian avatar
By Damian
at 2022-12-07T12:05

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光阻Photoresist就是照光會反應的材料,沒什麼困難的概念

在半導體上從低階到高階都會有,現在日本市佔大的就高階的光阻

大概佔90%以上,都是信越 JSR TOK 富士軟片跟住友占走

最高階的EUV光阻,信越跟JSR跑在前面。

日本的有機合成經驗多,且材料純度高,做食品或味素的公司做電子

材料也可以賣很好。然後早起就進入光反應樹脂的市場,累積大量開發

與合成經驗當然越走越遠,專利也越寫越多

不過現在光阻的基礎骨幹結構與配方都寫在Paper上,也不是甚麼新東西

材料現在有用MI在模擬,配方與結構遲早被摸出來。

剩下只有繞過專利惹,如果不理專利的話應該難度不會太高。

但是當然會不會只有配方這麼簡單,每個layer的特性都要做調整

差幾奈米的pattern效能天差地遠。


除了配方以外,量產與純化標準都高到不行,雜質含量也是0後面好幾個0的程度

量產製造的與純化要達到這個要求,know how也是很多,連環境也要高等的無塵室才行。

這些也是提早進入市場所累積出來的經驗,現在EUV的技術與貨物出口都要經過日本政府

審查同意,連開發人員都要身家調查才給摸,拿來當貿易武器的東西真的不一樣。


最後,最重要的是,要有FAB給你測,晶片製造商很難讓一個沒有經驗與信賴性的

原料供應商測光阻,不知道品質與量產能力,還沒有實績;如現在EUV的測試因為材料

供應商沒有EUV的tool,只能給有tool的客戶或是實驗室測,整個拉長了開發時間;如果

有新來的供應商應該沒甚麼空間能夠生存。

所以自然就只剩下這些供應商存在了。

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All Comments

George avatar
By George
at 2022-12-04T23:43
做晶圓代工有產業升級條例晶片法政策補貼 光阻液無
Frederic avatar
By Frederic
at 2022-12-09T20:39
日系都是Vendor代理;理工科系進產線三寶是大宗
Andrew avatar
By Andrew
at 2022-12-04T23:43
https://fnc.ebc.net.tw/fncnews/business/77855
Yedda avatar
By Yedda
at 2022-12-09T20:39
這個事件應該會讓後進者門檻又拉高
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By Lydia
at 2022-12-04T23:43
別那麼認真回廢文好嘛
Michael avatar
By Michael
at 2022-12-09T20:39
認真的話 上次GG有個材料發生問題的事件 可以看看
Susan avatar
By Susan
at 2022-12-04T23:43
那會影響良率很嚴重的
Andrew avatar
By Andrew
at 2022-12-09T20:39
主管一句話「換了之後出問題誰負責」就不會有人試了
Brianna avatar
By Brianna
at 2022-12-04T23:43
推拉
Elvira avatar
By Elvira
at 2022-12-09T20:39
開頭的邏輯,跟EUV就是比較短波的光,沒什麼困難的
Odelette avatar
By Odelette
at 2022-12-04T23:43
概念有什麼兩樣
Megan avatar
By Megan
at 2022-12-09T20:39
根本也不用什麼ML, 你要有評估機台的話平常做的DOE
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By Annie
at 2022-12-04T23:43
就夠了
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By Erin
at 2022-12-09T20:39
原料純是一回事,做成高分子是另一件事。分子量中
通通影響最後產出。做出來了誰要陪練?有實績線上也
David avatar
By David
at 2022-12-04T23:43
心值、分子量分布要做到幾個標準差內,能穩定的做
到多窄,配方的生產準度有多高,還有無塵室有多潔淨
不一定敢換,沒實績的那根本是鬧笑話。
Lucy avatar
By Lucy
at 2022-12-09T20:39
概念很簡單 做很難 聚合過程要保持均勻就很難了
Una avatar
By Una
at 2022-12-04T23:43
要做進口替代也是當局出來當召集人再加稅排擠進口
Margaret avatar
By Margaret
at 2022-12-09T20:39
其實EDA也一樣 軟體做出來半導體廠不跟你合作認證也
Isabella avatar
By Isabella
at 2022-12-04T23:43
沒用 想當半導體供應商也沒那麼簡單
Carolina Franco avatar
By Carolina Franco
at 2022-12-09T20:39
專業
Tristan Cohan avatar
By Tristan Cohan
at 2022-12-04T23:43
不同製程光阻需要的感度跟穿透深度,跟舊世代的光
蝕、模數、直線或挖孔的特性也差蠻多的,這樣子能
當差不多的話,那5或3奈米製程跟22奈米也是差不多
的概念啊,不同的那一點點就是量產跟嘴炮的差別。
Quintina avatar
By Quintina
at 2022-12-09T20:39
阻差異又不是一點點,不是能反應就還行,深寬比、耐
Leila avatar
By Leila
at 2022-12-04T23:43
光阻的光化學雖然是照光交聯,但其實其背後光化學
其材料背後know how不只在有機合成而已。
Selena avatar
By Selena
at 2022-12-09T20:39
很複雜,光一個OXE-01的光反應文獻都尚未有定論,
Mia avatar
By Mia
at 2022-12-04T23:43
OXE-01都幾年了哪裡還不知道
Rae avatar
By Rae
at 2022-12-09T20:39
一路出到04、05都有了,原廠還被陸廠巴假的
Damian avatar
By Damian
at 2022-12-04T23:43
專利沒寫好被找洞就算了,後來還被超越
Barb Cronin avatar
By Barb Cronin
at 2022-12-09T20:39
oxime ester type後來的專利申請數非常多,變來變去
大致上就是調整吸收頻譜,調整側鏈去配合溶解性與遷
移問題,改感度,改善厚膜表現,或是強化表面光交聯
。但是這是負型光阻的材料,正型用的光酸熱酸還有
酸放大劑又是另一個世界
Tracy avatar
By Tracy
at 2022-12-04T23:43
最後一點最重要,GG不幫測就真的沒用了
Linda avatar
By Linda
at 2022-12-09T20:39
這些特化用品台灣不一定不能做,光引發劑就有本土
供應商,但光是靠本土的市場要熬到能開始外銷就很
難。台商懂得要拿哪些原料來搭配的公司,多半具有
生產或是根本就只是不做而已,你是小供應商會不會
怕怕的幹脆不賣或是市場評估完就不玩了。而且越下
游水又深又冰,給你做出光阻好了,費了各種人脈各
種資源,砸了一堆錢後,終於通過驗證,價格開他一
公斤數十萬好了,幾噸幾噸賣淨利能不能賺個幾十億?
半導體產線一次MO歸咎到材料的問題,賠償責任是幾十
億到百億,新進廠商口袋要有多深,性格要有多扭曲才
要玩這種生意?
Andy avatar
By Andy
at 2022-12-04T23:43
對啊,做出來還沒辦法自己測到底怎麼知道做的好不好
?GG肯測也不會無限制的共享測到的結果,很多使用上
的問題沒機台根本沒有再現的可能,那要怎麼改?
Michael avatar
By Michael
at 2022-12-09T20:39
默克不是也有做光阻?
Callum avatar
By Callum
at 2022-12-04T23:43
OXE-01雖然出來很多年了,但在照光時的光化學反應
機制一直到去年底都還有新研究論文發表。
Elvira avatar
By Elvira
at 2022-12-09T20:39
如果有人發表新模型補充過去不足之處,這樣要算得上
沒有定論等等,那irgacure-907這種老掉牙的東西,前
幾年有人也發了一些計算的內容,不就也要說過去一
樣沒有定論?這些東西如果還雲裡霧裡的,就不會有
陸廠整系列的產品一隻一隻出來。甚至有開發商的專利
直接講明用什麼計算模型去跑,鍵長應該落在哪個範
圍比較適合。除了直接預測QY或自由基壽命這種需求,
大部分情況沒那麼多不確定的地方
Lily avatar
By Lily
at 2022-12-04T23:43
新的文獻並不是補足不足的部分,而是提出與先前認
為的躍遷機制所預測的路徑有不同的實驗結果,雖然
這些機制對於大多數情況並不會有很大的影響,但一
些文獻有提到這些機制的差異可能會影響到細微結構
的CD跟LER
Isla avatar
By Isla
at 2022-12-09T20:39
半導體化學品不光專利佈局的問題而已,沒有在專利
上的know how 也不少,本土廠商即便追上了能不能進
廠驗證還是另一個問題
Jessica avatar
By Jessica
at 2022-12-04T23:43
驗證一直以來都是關鍵
Agatha avatar
By Agatha
at 2022-12-09T20:39
你講的文獻方便給DOI或關鍵字嗎?沒有也沒關係,就
加減看看,現在不搞這個了
Franklin avatar
By Franklin
at 2022-12-04T23:43
以光阻類的東西來說,敢寫出來的多半都不怕抄,你
覺得他逆向工程超強呢還是沒寫的小東西才是真正重點
呢?這種陰人的細節,靠經驗的know how很多吧
Rosalind avatar
By Rosalind
at 2022-12-09T20:39
叫教授去研發替代品 讓學生去上班工作生活平衡啊
Kama avatar
By Kama
at 2022-12-04T23:43
讓政府撥預算補貼研發光阻劑研磨劑

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Eartha avatar
By Eartha
at 2022-12-07T08:28
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