有關CMP的機台~ - 工程師

Jessica · 2018-03-16

Table of Contents

請問為何CMP的機台都在Fab角落或是邊邊角角的地方?

有些Fab甚至連CMP的區域都有獨立隔間,

幾乎沒見過像是T/F,Etch那種散落在Fab各區的~

--

All Comments

Blanche2018-03-17

不懂問這個要幹嘛??? 羨慕CMP?

Dorothy2018-03-19

認真回答你...CMP因為機台需要供應Slurry!

Carol2018-03-22

總不能機台散落FAB各個區域然後要廠務拉管拉的到處都是..

Quanna2018-03-23

認真回你，太髒

Damian2018-03-27

Residue embedded scratch 全都HL CMP就對了

Candice2018-03-29

粉塵重啊，有無塵跟沒無塵一樣

Aaliyah2018-04-02

想一下CMP的用途，還有查slurry成分，應該就有底了

Freda2018-04-04

不要害廠務啦管跑來跑去的很麻煩唉

Susan2018-04-05

認真回你太髒，湯湯水水怎麼能和真空器材放一起

Mia2018-04-08

Emb先嗨賴TF吧

Tracy2018-04-11

Ebara 宣稱 dry-in - dry-out, 真的這麼神嗎?

John2018-04-13

很早前兩大CMP商的機台就dry in dry out

Jacob2018-04-17

就算沒有完完全全dry out 那也是鎖在foup 裡啊 Eb
ara算不錯了啦

Candice2018-04-22

豆豆磨來磨去……讓我想起這首廣告歌

Aaliyah2018-04-26

因為CMP髒，對就是那種髒！