林本堅 發明浸潤式微影技術 - 工程師

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By Catherine
at 2021-04-12T12:29

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https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1442561

林本堅 發明浸潤式微影技術

2021/04/12 05:30

https://img.ltn.com.tw/Upload/business/page/800/2021/04/12/147.jpg
台積電前研發副總經理、現任清華大學講座教授林本堅。(記者洪友芳攝)

記者洪友芳/特稿

光學微影是半導體重要的關鍵技術,林本堅被稱為微影技術的先驅者,當前全球半導體高
階製程所用的浸潤式微影技術,就來自他的發明;他也是中研院第一位產業界出身的院士


中研院首位產業界出身院士

林本堅曾任職IBM研究中心長達二十二年時間,帶領團隊創造出許多領先全球的技術;從
IBM退休後,他在美國自行創業近十年,二○○○年在台積電前研發副總經理蔣尚義邀請
下加入台積電;二○○二年間,他改以水為介質,研發出浸潤式微影取代乾式微影,讓台
積電成功引領全球半導體業技術走向,得以推進製程至今。

半導體業從四十奈米製程開始採用浸潤式技術量產,設備大廠艾司摩爾(ASML)也跟著轉
向,全球業界跟進;從四十五奈米到目前量產的五奈米製程都是浸潤式技術,該技術已躍
為全球半導體業量產技術主流,更讓台積電技術領先英特爾、三星,居全球半導體領導地
位。

林本堅獲獎無數,除了多次獲IBM頒發傑出發明獎、傑出貢獻獎外,更當選美國國家工程
學院院士、國際電機電子工程師學會(IEEE)西澤潤一獎、Cledo Brunetti獎、工研院院
士、潘文淵文教基金會研究傑出獎、IEEE會士及首位產業界的中研院院士:二○一八年底
,有「中國諾貝爾獎」之稱的未來科學大獎,還頒給他高達一百萬美元的數學與電腦科學
獎項,顯見他在業界的重要地位。

林本堅二○一五年十一月自台積電退休,原規劃輕鬆過日子、專心傳教,沒想到清大找他
去教書;他說現在好像跟當初來台灣一樣,有很多喜歡的事要做,時間不夠分配,除了教
課外,還接任台積電與清大的聯合研發中心主任、負責主持產學大聯盟,加上每週打兩次
網球、每月最後一週負責教會講道等;林本堅笑說:「退休後更忙碌。」

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沒說小乘大乘上座部佛教馬哈希尊者帝釋所問經講記77頁拆穿佛法大乘騙局
上座部佛教明昆《南傳菩薩道》真釋迦牟尼佛的菩薩成佛之道 大乘菩薩成佛之道
妙法蓮華經華嚴經心經金剛經梵網經(菩薩戒)、圓覺經楞嚴經大乘假佛經。
阿彌陀佛 藥師佛 大日如來大乘假觀世音 維摩詰 龍樹 地藏王大乘假菩薩
https://www.ptt.cc/bbs/soul/M.1584460614.A.E88.html
上座部佛教目犍連子帝須那先偽經大乘十方諸佛

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All Comments

Valerie avatar
By Valerie
at 2021-04-13T12:42
你那邊還來得及 快叫你爸all in 2330
Xanthe avatar
By Xanthe
at 2021-04-14T03:04
樓上 趕快放空canon all in ASML 才對
Jacob avatar
By Jacob
at 2021-04-16T11:44
IBM20年 自己創業10年
再加上2000年回來到現在21年了 0.0 應該七八十了吧?
Irma avatar
By Irma
at 2021-04-19T04:57
買啥股票直接一買比特幣啦
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By Elvira
at 2021-04-23T21:38
所以台積水會不夠用是這個原因?(誤
Sarah avatar
By Sarah
at 2021-04-28T18:47
要嘛比特幣 要嘛Tesla 買2330幹啥??
Ingrid avatar
By Ingrid
at 2021-04-30T15:52
他真的超厲害
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By Genevieve
at 2021-05-02T04:35
記者比較厲害,幾年前的新聞重抄一篇。
Mary avatar
By Mary
at 2021-05-05T10:25
上一代神
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By Skylar Davis
at 2021-05-07T04:13
改變世界的辣個男人
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By George
at 2021-05-10T14:23
幾百年前的事情= =
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By Ina
at 2021-05-11T04:28
要講幾次?
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By Elma
at 2021-05-13T21:59
考古嗎?..
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By John
at 2021-05-14T04:09
強者舊聞
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By Bennie
at 2021-05-16T13:21
考古學家嗎.....
Audriana avatar
By Audriana
at 2021-05-18T14:56
文組撥接
Michael avatar
By Michael
at 2021-05-19T20:37
沒新聞就來考古...?
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By Anthony
at 2021-05-21T06:40
2015年退休嗎?? 怎麼跟我印象不同 難道是曼德拉效應
Damian avatar
By Damian
at 2021-05-25T16:00
好像住關埔那邊 ㄏㄏ
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By Brianna
at 2021-05-26T06:28
前面只是鋪梗吧,新的是退休後的生活,他真的認真傳道
Xanthe avatar
By Xanthe
at 2021-05-29T19:44
幫補血
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By William
at 2021-05-30T09:51
重壓達美樂
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By Connor
at 2021-06-01T20:41
smith第一章就有介紹了 都沒讀書?

台積電5奈米大軍 集結南科

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By Emily
at 2021-04-12T08:38
台積電(2330)衝刺先進製程,因應5奈米增強版今年內量產,近期南科再次集結生產與 研發大軍,相關人力調度每批約百人,並順勢培訓即將派駐美國新廠的菁英。 台積電規劃,5奈米增強版將在今年內開始量產,加上4奈米與3奈米同步風險試產,相關 製程生產與設備人力需求同步提升。由於公司看重先進新製程,自願或 ...

台積電開赴美工作福利 這條件最誘人!

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By Anonymous
at 2021-04-12T04:06
身為一個走過同樣路的人, 提供我的經驗跟看法,希望有幫助, 先說一下我的背景, 由於本人混得很差, 一直在被裁員,換工作,找到新工作搬家, 這樣的無窮迴圈裡頭, 所以我美國待過超過五六個州, Chandler, AZ 剛好有短暫待過一陣子, 另外還有在北卡跟德州工作過, 當年在Chandler第一次下飛機的 ...

ic佈局工程師需具備的製程相關知識

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By Joseph
at 2021-04-11T21:30
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By Elizabeth
at 2021-04-11T21:26
◎我已閱讀過置底的 板務規範 和 發文規範:是 (請確實閱讀過後並將項目「否」刪除) ◎個人徵才: (以下所有欄位均為必填,若為公司徵才�� ...

「4大4中」崩壞 台積電請不到人 網揭關鍵

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By Daph Bay
at 2021-04-11T16:50
※ [本文轉錄自 Reewalker 信箱] 作者: kivan00 (Kivan) 看板: Gossiping 標題: [新聞] 「4大4中」崩壞 台積電請不到人 網揭關鍵 時間: Sun Apr 11 11:19:18 2021 1.媒體來源: 中時新聞網 2.記者署名: 王嘉慶 3.完整新聞標題 ...