清大半導體學院奈材中心揭密 打造小型晶 - 工程師

清大半導體學院奈材中心揭密 打造小型晶圓廠練兵

中央通訊社 潘姿羽 - 1 小時前

林本堅專訪1（中央社記者潘姿羽、張建中台北11日電）台灣為延續半導體優勢地位，在
全台成立4個半導體學院，其中由中研院院士林本堅領導的清華大學團隊是佼佼者，除擁
有豪華師資陣容外，隱藏在後山的奈材中心實驗室，大手筆購置了許多儀器，如同一座小
型晶圓廠，成為練兵秘密基地。

除清大半導體學院外，其他3所包括台大「重點科技研究院」、陽明交大「產學創新研究
學院」、成大「智慧半導體及永續製造學院」。今年2月，清大半導體學院已有少部分學
生提前入學，並於9月全面開學上課。

●推動產業前進下世代 林本堅：半導體需要活才

美中貿易戰、COVID-19疫情擾亂全球政經局勢，卻也意外讓半導體產業迎來「超級景氣循
環週期」，企業滿手訂單、獲利頻頻創高，氣勢如日中天。

不過，產業大老未見喜色，反而頻頻示警、投書媒體，疾呼政府應正視半導體人才荒困境
。林本堅指出，地緣政治掀起的在地生產趨勢，恐讓人才荒嚴重程度膨脹數倍。

「浸潤式微影之父」林本堅自台積電退休後就在清大任教，去年在清大校長賀陳弘邀請下
，出任清大半導體學院院長，「我在半導體、微影領域裡面差不多累積50年經驗，有機會
把這個傳給下一代，是很好的事情。」

本著傳承與回饋的精神，林本堅毅然決然地在80歲這年，交付自己新的任務，即培育半導
體產業的「活才」。

林本堅說明，要培育學生成為領導者，必須先讓學生練就特定領域的研究本領成為「專才
」；而半導體科技講究互助合作，得了解其他各部的語言、理論，因此需要「通才」；但
要能開創新的方向和領域、讓人追趕，就得是位「活才」才能辦到。

在政府大力推動、產學攜手下，台灣現有4座半導體學院，清大半導體學院特點是設有元
件、設計、材料及製程4部。第一學期安排導讀，學生除了熟讀本部內容，還要學習其他3
部的概論，對半導體產業全貌有基本理解，才能穩紮穩打，讓學生逐步從專才、通才走向
活才。

半導體產業要持續往下世代推進，製程是關鍵一環；然而製程是由產業界主導，所有學校
都缺乏足夠師資。林本堅動用在半導體長期的豐厚人脈，找來重量級師資，他在台積電的
得意部屬高蔡勝，目前便擔任半導體學院製程部主任。

此外，包括微影設備大廠艾司摩爾（ASML）副總經理嚴濤南、台積電卓越科技院士暨副總
經理余振華、力積電研發副總經理張守仁及前聯電研發副總經理游萃蓉等，均是來自產業
界的豪華師資。

位於清華大學校園後山的清華實驗室更是練兵的秘密基地，不含內部精密設備儀器，光是
實驗室的造價就高達新台幣7億元，一樓的奈微與材料科技中心實驗室更是國內校級單位
配備設備最精良、規模最大的實驗室。

奈材中心實驗室雖然沒有價格高達上億歐元的先進極紫外光（EUV）微影系統，但也有以
優惠價新台幣4000萬元向日本購入的電子束微影系統，原價達8000萬元，這對產業界或許
僅是零頭，但已經讓很多學校羨慕不已。

奈材中心實驗室設有無塵室，進入前要穿著連身的無塵衣帽、手套，口罩，並經過風淋室
；走進無塵室後，可看到鍍膜設備，還有黃光區，配備有蝕刻及微影製程設備，有如一座
小型晶圓廠。學生在學校可以先接觸實作，進入產業界前，預先有心理準備。

除了重量級師資與實作場域，學研界與產業界的合作也勢在必行。林本堅指出，產業界考
量商業利益，通常只研發下一代技術，下兩、三代技術就沒有辦法了；半導體學院則可超
前部署，盡情探路、冒險。


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