請問FAB廠的半導體製程金屬前後製程區分 - 工程師

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By Isla
at 2012-07-28T23:23

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如標題

一般都會怕金屬有汙染到機台

請問版上製程或整合工程師

怎樣去界定啊??

有Silicide算是金屬後了嗎??

還是要進入後段的金屬層才是

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All Comments

Poppy avatar
By Poppy
at 2012-08-01T03:20
會換foup 有污染問題的站點就換該金屬專用foup
Emily avatar
By Emily
at 2012-08-02T22:49
樓上指的是銅製程 通常是以contact layer做區隔
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By Jacob
at 2012-08-04T17:02
以 Foup 區分
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By Eartha
at 2012-08-06T19:56
foup~~~O2 and N2 bala bala..

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By Noah
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By Jake
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