請問關於plasama etch system的問題 - 工程師

1.同體積的He跟同體積的N2 價格差幾倍

2.plasama etch system中常使用的
backside He system中的He可否用N2取代

是因為N2會跟Si反應嗎
還有其他比較便宜的gas可以取代嗎
有沒有經濟效益 cost down有沒有搞頭呀

小弟無知 異想天開 請各位先進指教
謝謝

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