陸媒曝：富士康首座封測廠 引進46台大陸國產28nm光刻機 - 工程師

https://udn.com/news/story/7333/5938279

2021-12-04 21:49 聯合報 / 記者戴瑞芬╱即時報導

肩負大陸突圍「卡脖子」的自研28nm光刻機，上海微電子今年8月完成技術檢測和認證，
透露將在2021—2022年交付。不過，陸媒IT之家報導，11月26日在青島正式投產的富士康
集團第一座晶圓級封測廠，已經率先出手，引進上海微電子多達46台的大陸國產28nm光刻
機。

上海微電子自主研發設計的是大陸首台國產28nm浸沒式光刻機。大陸因為光刻機技術和人
才不足，無法製造高端光刻機，美中貿易戰後在科技設備和高端技術被「卡脖子」，因此
傾國家之力實施科技重大專項「極大規模集成電路製造裝備及成套工藝」項目（又稱02專
項），研製成功國產90nm光刻機。

上海微電子自研的大陸國產28nm光刻機，8月完成技術檢測和認證，也意味大陸國產光刻
機從90nm一舉突破到28nm。

不過，大陸國產28nm光刻機的射頻晶片、藍牙晶片、功放晶片、路由器上的晶片、各種電
器的驅動晶片等非核心邏輯晶片，仍採用28~90nm製程。

11月底富士康青島封測廠正式投產，這是富士康第一座晶圓級封裝測試生產線啟動，項目
進入到運營階段。

IT之家報導，值得一提的是，有消息稱這所半導體封測廠所用的光刻機設備採用上中國光
刻機龍頭上海微電子（SMEE）28nm光刻機，國產光刻機將從此前的 90nm一舉突破到 28nm
製程，同時對於降低國外市場依賴有重要意義。

大陸自媒體火以進一步透露，28nm國產光刻機被富士康率先出手，收入囊中，重點是引進
設備累計數量多達46台。透露富士康青島半導體公司的主要業務，未來將會用扇出型封裝
和晶圓鍵合堆封疊封裝技術，面向5G技術、人工智能等行業推出相關產品。而富士康青島
封測工廠，同時也擁有全自動化搬運、智慧化生產等高端設備。
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