中芯5奈米沒了？ 台積大老打臉外界預測 - 工程師

中芯5奈米沒了？ 台積大老打臉外界預測

工商時報 數位編輯 2022.01.01

大陸晶圓代工巨頭中芯遭美方打壓，14奈米相關設備取得困難，目前製程似乎停留在28奈米
製程，反觀台積電早已進入極紫外光（EUV）製程世代，7奈米、5奈米傳捷報，但沒有EUV機
台就不能做先進製程嗎？台積電前研發副總、浸潤式微影之父林本堅則認為，即使沒有高階
昂貴的EVU，中芯以現有設備至少做到5奈米應該沒問題，打破外界只停留28奈米的刻板印象
。

外電早前引述消息來源指出，拜登政府考慮對中芯國際實施更嚴厲的制裁，以防大陸獲得美
國關鍵技術。一旦禁令通過，中芯的28奈米、40奈米及更成熟製程設備都會被列入管制清單
中。但因美國商務部提出質疑，認為此舉也會傷害美企利益，因此美方暫時擱置阻止向中芯
出售更多美國技術。

中芯聯合首席執行長梁孟松之前曾透露，中芯28奈米、14奈米、12奈米以及N+1製程都進入
規模量產，開發中的7奈米製程也已經完成，預計2022年就可以投入風險量產，是否仍有機
會取得設備來供應晶片，將成外界關注焦點。

目前在半導體製造產業中，只有台積電、三星等導入EUV先進製程技術，並進入規模量產，
台積電在7奈米、5奈米告捷後，預計3奈米在2022年下半年量產，而受到美方制裁的中芯仍
停留在14奈米以上節點，甚至是28奈米成熟製程。

EUV設備是進入先進製程的關鍵，但沒有EUV的話，尖端技術就無法推進嗎？Digitimes科技
網報導，台積電前研發副總林本堅認為，微影技術及產能的投資成本很高，以中芯來說，不
一定要用到高階昂貴EUV機台，以現有設備應該能做到5奈米製程，但技術研發是否到位很重
要。這番話給中芯打了一劑強心針，也打破外界認為中芯將在28奈米止步的預測。

台積電3奈米今年下半問世，2奈米也預計2025年量產，不過林本堅表示，3奈米或以下先進
製程很花錢，相當吃力不討好，還是有很多方法可以做，先進封裝技術是方法之一，雖然不
一定省錢，卻能提升效能，台積電已超前部署，延聘更多研發人才，未來不一定只能朝製程
微縮之路前進。（中時新聞網 吳美觀）

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