中芯7/5奈米繞道觸碰敏感神經　梁孟松領 - 工程師

中芯7/5奈米繞道觸碰敏感神經　梁孟松領軍不放棄先進製程

中芯先進製程近年來遭美國政府卡脖，也使得中芯不再高調，14奈米以下進展極為機密，
不過，可觀察的是，只要梁孟松等團隊在中芯，領軍半導體國家隊的中芯，對於先進製程
就絕對不會放棄。

近日針對MinerVa新品礦機採用中芯7奈米製程生產，消息一出也引發各方關注，皆相當疑
惑沒有ASML的EUV設備支持，中芯如何實現7奈米製程量產且產品上市目標。

中芯在梁孟松於2017年10月加入後，所帶領的團隊加速推進研發實力成績顯著，2019年高
調宣布中國14奈米FinFET製程已研發成功，此為先進製程布局三階段中的首階段，第二階
段則為12奈米製程技術，預計在2020年上半開始貢獻營收，第三階段則是第二代FinFET製
程(N+1技術)，當時希望2020年實現小規模生產。

據梁孟松先前表示，N+1製程相當於台積電的第一代7奈米製程，而持續研發的N+2製程，
則相當於台積電的7奈米EUV強化版製程。

值得注意的是，梁孟松曾表示，N+1、N+2製程都不會採用EUV技術，待設備就緒之後，N+2
之後才會全面轉進EUV微影製程世代，此也被業界認為此策略仿效台積電7奈米與7奈米EUV
世代作法。在國家傾全力扶持下，中芯對於14奈米及後續製程推進度相當樂觀。

然而，美中貿易戰擴大為半導體科技大戰後，有著華為在前慘痛卡脖範例，肩負中國半導
體自主大計的中芯，行事作風也轉趨低調。

事實上，中芯不僅已遭美方列入先進製程半導體設備材料出口管制實體清單，當時也禁止
10奈米製程以下美企設備出貨予中芯，10奈米以上設備銷售則須審核批淮，拜登政府延續
川普時期的策略，持續收緊與嚴控中國半導體產業鏈發展，此也對於中芯或是華虹等產業
鏈帶來極大壓力，也因此，中芯行事作風收斂，製程發展也不再全面公開。

自2020年第2季起，中芯改變了各製程營收貢獻度的形式，原本分別列出的14與28奈米，
改為合併揭露，因此看不出14奈米的貢獻，此外，在2022年第1季財報中，更是全面未披
露各製程節點營收貢獻度數據，改為並無太大參考價值的8吋與12吋晶圓的營收貢獻度，
此舉也被認為持續發展且有成績的中芯，不想再踩美方紅線，以避免又遭箝制。

與其他晶圓代工大廠一樣，2020、2021年大享產能供不應求榮景的中芯，相較各廠，對於
擴產與製程推進則是相當低調，讓外界認為中芯就在28奈以上製程穩穩賺就好。然而，近
日的一則未經中芯證實的7奈米代工消息，恐將再度觸碰美國政府敏感神經。

據研究機構TechInsights最新拆解報告發現，MinerVa Semiconductor新品礦機的SoC，採
用中芯7奈米製程，新機並已全面上市。進一步分析指出，中芯採用的是應用N+2製程技術
，等級如台積電7奈米強化版。也讓不少人認為，沒有EUV設備的中芯，N+2製程竟也能達
到台積電的7奈米EUV強化版水平。

事實上，台積電前研發副總、浸潤式微影之父林本堅於2021年底就曾直言，儘管在多方箝
制下，中芯的技術至少可做到5奈米應沒問題，不一定非得要用高階昂貴的EUV設備技術才
能實現，此番言論也打破外界認為中芯在28與14奈米奈米止步的預測。

半導體業者也表示，DUV機台多用在成熟製程晶片生產，但先前三星、台積電也都有用在7
奈米製程世代，透過DUV的193奈米浸潤式ArF微影生產。台積電數年前就表示，7奈米製程
於2018年4月正式量產，第二代7奈米(N7+)技術於2019年上半量產，為業界首個商用EUV製
程技術。

但中芯若想迂迴以DUV多重曝光，來達到與EUV的13.5奈米波長等效，在整體成本與良率上
將付出高昂代價。

不過如林本堅所言，儘管製造困難與成本過高，中芯願意付、也付得起，只要能量產就是
一大成功，規模大小是另一回事，因此中芯即使在沒有EUV設備下，推進至5奈米應該還可
以，然此鉅額研發支出能撐多久，本土手機、AI晶片廠誰會大量採用都是問題。

現階段在美方嚴控下，中國半導體自主推進之路不時就將卡關，以ASML來說，雖是荷蘭企
業，但光源來自於美國Cymer，光學模組來自德國蔡司，計量設備來自美國，關鍵零組件
來自多國供應鏈採購，除了台積電外，ASML算是也身不由己的企業。

半導體設備業者就表示，除了台積電是大家的衣食父母外，中國半導體產業早已全球前十
大設備甚至所有設備材料廠的最大市場，美國政府可以箝制中芯等業者，但手段太過激烈
，除了引發全球政經動盪劇烈外，恐將適得其反，畢竟，眾多設備材料產業鏈都是美國大
廠所掌控，眾廠產品無法出口中國，營收恐將大跌。

中國發展半導體自主技術與國產化的意圖強勁，但在目前的箝制下，數年應也難進入先進
製程戰局。斷了中芯等中國大陸的EUV與DUV供應，實也斷了中國的晶圓自主製造目標，但
也斷了全球半導體設備材料產業鏈的龐大商機。

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