中芯7奈米 疑抄襲台積電 - 工程師

外電報導，中國最大晶圓代工業者中芯國際7奈米製程已量產，從去年7月起已持續約一年
，生產虛擬貨幣挖礦裝置的晶片並提供給客戶MinerVa公司，近期因外媒TechInsights拆
解晶片後才被曝光，且初期影像顯示幾乎抄襲台積電7奈米的製程。

高達520億美元補貼的美國晶片法案即將過關，法案中禁止領補貼的業者在中國大陸擴產
，卻仍爆發中芯量產7奈米晶片案。

業界研判，中芯此舉凸顯中國大陸極力突破半導體先進製程防線，且技術逐漸趕上台積電
、三星，逼近全球第三大晶圓代工廠地位，預料美國將會再提高取得先進製程關鍵設備門
檻。

對於中芯疑似抄襲的相關訊息，台積電昨回應記者詢問，對此無評論。另有亞系外資認為
，中芯應該仍不具備7奈米量產的能力，多半是10奈米的改良版，良率也是一大疑問。

外媒解讀，這是中芯在晶圓代工產業第三次將7奈米製程商業化，但實際量產規模應有限
。依據中芯國際投資人會議資訊，2020年時曾首次提到7奈米製程技術發展，後續並曾提
到計畫2021年風險試產以及2022年左右量產計畫。

業界人士指出，中芯在美國管制下很難取得關鍵生產設備，力求突破的方式就是轉用在地
設備供應商或是運用既有的深紫外光（DUV） 微影設備生產。

中芯沒有極紫外光（EUV）微影設備還是做出7奈米晶片，業者說，中芯目前的DUV設備仍
可做出7奈米晶片，只是工序繁瑣，良率也難與台積電匹敵，而且一顆晶片中並非所有的
製程都用到7奈米，研判是中芯代工生產挖礦晶片的廠商 ，先在台積電7奈米製程投片，
再交給中芯進行反向工程。

工研院產經國際所研究總監楊瑞臨表示，如果中芯真要刻意抄襲，只靠DUV設備也能做出
來，但抄襲的認定仍有待後續觀察。他強調，不僅台積電會反擊提告抄襲，相信中芯此舉
也會驚動美國，加大禁止關鍵設備輸往大陸力道，研判可能連DUV都禁售大陸業者，牽連
廣泛。

業界分析，中芯運用DUV設備生產較先進製程可能遇到的瓶頸是良率、產能與生產效能都
遠低於業界。但是，中芯用DUV設備也要生產先進晶片，已讓美國官方極為謹慎，積極和
微影設備大廠艾司摩爾（ASML）溝通、力求限制出口給中芯。

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