: 她強調，會要求供應商賠償，否則將提告索賠，但不透露供應商公司名稱與化學品名；
供
: 應鏈傳出確定是美商，另傳是供應光阻液或研磨液。
: 備註 : DOW ?
小弟不專業的分析一下
黃光也就兩種原物料，光阻跟顯影液
如果是光阻過期，這個不太可能驗不出來，因為在COA上有一欄是驗CD的
光阻過期或氧化會導致CD異常
再怎麼樣in line也會看到CD ooc或 oos
另一個可能是顯不乾淨，但這種顯影defect說KLA驗不出來 就很奇怪了
sp機台都號稱可以驗到2奈米的pa
而且4大製程裡面就黃光的in line inspection tool最多
如果是CMP slurry的過期，不負責的推測可能會有sio2粒徑不一致導致晶圓刮傷
這個說KLA掃不到，也很奇怪
原物料出包一般都是全面性的，不太可能跑個幾萬片才發現
除非。。。事情不單純
以上是不專業之不負責推論
有沒有巷子內的要出來爆掛一下???
--
All Comments