台積尬三星 5奈米明年動工 - 工程師

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台積尬三星 5奈米明年動工

2016-11-25 00:44:44 經濟日報 記者江睿智／台北報導

攸關台積5奈米先進製程布局的南科環境影響差異分析報告案昨（24）日通過專案小組審
查。台積電表示，台積5奈米製程將在明年動工，計畫在2020年量產，迎戰三星。

南科第一期和第二期環評分別於1996年及2003年通過，因台積電和聯電更新半導體製程，
須增加用水用電量，依規定須辦理環差變更，環保署昨日召開南科環境影響差異分析報告
專案小組第三次審查會議。

南科管局長林威呈昨天出席作簡報，包括台積電和聯電都派代表參加，台積電副處長陳鏘
澤特地向環評委員及環團解釋半導體製程為何快速更新。他說，半導體產業技術根據
Moore's Law，持續推進縮小積體電路線寬，以製造更節能、更環保的產品，約每兩年增
加一倍電晶體數目，每18個月晶片效能提升一倍。

他舉例，5奈米晶粒是28奈米的14%，且單位晶粒生產用電用水量分別是28奈米的43%及37%
，因5奈米的產品技術門檻高，市占率及單位產值亦將隨之成長。台積電和三星競爭早已
從10奈米訂單往前延伸到未來新製程，台積必須進入5奈米製程，若能通過環差審查，5奈
米製程預計明年就可動工。

因更新製程，南科每日增加5萬噸用水量、70萬千瓦用電量。林威呈表示，南科承諾未來
將採用1.25萬噸的永康再生水、及園區2萬噸工業回收再生水，將在南科環三用地上設置
再生水廠。

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