台積離子佈植設備 - 離職

人在日本出差 晚上無聊來發發廢文聊一下imp

小弟之前在某fab內顧過幾年的imp



台灣的imp機台供應商大概有三家 AMAT Axcelis SHI

小弟只顧過兩個A社的

所以聊聊這兩家的機台


前面有人提到說 沒三年不敢說懂imp

個人還蠻認同的

沒一定經驗我看連想解讀alarm message都蠻困難的

不過說是真空機台內最難的我倒是不太認同

畢竟imp內部沒有光路 隨便一台有光路的機台難度都屌打imp

而且就算被PE highlight 說機台run出來的產品有問題要處理

最後也就換換parts tunebeam完以後就完事了


另外IMP個人認為算是蠻危險的機台

不光是平常使用的是毒氣之外 (B P As)

還有機會會發爐 有遇過一抽真空機台就shutdown開始冒煙

而且機台parts普通偏重 又需要常常拆卸

危險性跟其他module比起來應該也有前三吧 (?



後面聊聊機台

AMAT現在主力的機台是trident 900xp

這兩種beamline型機台 只要平常parts的品質夠好

顧起來都算輕鬆的 (反而言之parts爛的時候就知道了XD)

另外還有一種叫PLAD 顧到這種機台的很屎

不光是機台很屎 聞起來也很屎

不過這機台就真的比較難 應該很少會給新人顧

但是PM的時候就會很想死了 因為真的很臭


axcelis的機台就high energy類跟現在最新的purionH

a社的機台就很難顧

因為AMAT的機台程式整合得很好 照著SOP通常都不會有甚麼問題

a社的就很多毛 傳片也是特別的disk式

是以前八吋的霸者 現在就被AMAT打趴


至於以前上班的生活

大概就是PM 顧SPC、FDC 撿螺絲 刷地板 整理環境之類的

值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam還有跟OP吵架

tunebeam也很吃個人技術跟經驗

要怎麼tune到小姐都覺得你超屌就是個人技術了



心得大概就是這些

雖然我最後還是離職了

不過普遍聽到的imp的離職率其實還蠻低的 (連日本的fab好像也是)

或許imp真的就是這麼好顧也說不定

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