很多年以前還是菜比巴的年代
有部份機台前後段會互轉,但是系統沒辦法卡控
有一台機台我借了一個禮拜都借不到,有一天突然給借了
我就興沖沖的進FAB run實驗
run完之後才看到機台上面貼了張告示"此機台已轉RUN後段製程"
然後我的wafer就只能報廢,cassette還要抱去清洗。
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有部份機台前後段會互轉,但是系統沒辦法卡控
有一台機台我借了一個禮拜都借不到,有一天突然給借了
我就興沖沖的進FAB run實驗
run完之後才看到機台上面貼了張告示"此機台已轉RUN後段製程"
然後我的wafer就只能報廢,cassette還要抱去清洗。
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