晶圓光罩載具美商Entegris勝訴，家登須 - 工程師

晶圓光罩載具美商Entegris勝訴，家登須賠9.78億

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我國家登(2019.3.23)公司公告，美國半導體晶圓及光罩載具供應商英特格公司（
Entegris）所提專利侵權訴訟案，智慧財產法院於3月22日一審宣判家登應給付新台幣9億
7887萬元，家登將提新證據考慮二審上訴。

英特格對家登提出的專利訴訟，主張家登所製造販售的Reticle SMIF Pod光罩傳送盒侵害
其「光罩載具及支撐光罩之方法」專利技術特徵，台灣智慧財產法院22日一審判決家登須
賠償此產品於民國98年至107年間銷售額6.5億餘元的1.5倍、即9.78億餘元。

本案始於Entegris於2015年來台向智慧財產法院對家登提起民事訴訟，控告家登侵害其專
利權，求償金額1000萬元。後來，Entegris於2017年提請擴張求償金額至9.78億元，求償
金額超過家登現有7.8億資本額。

家登於今年(2019)剛啟動極紫外光光罩盒（EUV Pod），出貨開始放量。家登稱，在全案
定讞之前，家登將以新台幣9億7,887萬元供擔保後得免為假執行，因此不對公司營運造成
任何影響。另外針對具有爭議性的產品部件，家登早已提出新的設計方案，並於各大客戶
端進行認證完成，未來將以此新設計方案出貨，不影響客戶權益亦不影響家登今年預期營
收狀況。

家登認為，英特格主張的專利在台灣有效，但在日本及大陸均無效。家登提出解釋，包括
原告主張的「以斜角邊緣推動光罩到達定位」是業界習以為常的技術，根據專利法規定根
本不應取得專利權。如1985年的日本專利及亞士帝將近20年前使用的光罩盒，均可證明該
專利是業界早已熟悉的技術，有信心最終可以證明專利無效。

值得注意的事，英特格曾於2007年間以收購家登為由進行實地查核（DD），當時曾以書面
承諾會將家登交付資料保密並銷毀。但卻在本案訴訟過程中，發現英特格仍向法院提出家
登產品的照片等資料作為訴訟上的證據。家登稱，英特格事後挖走家登重要技術長和相關
人員，對此家登不排除進行法律上必要行動。

由於，家登在中國半導體行業攻城掠地，而引來英特格提告。如今專利案敗訴，可能撼動
台灣及大陸晶圓供應鏈的轉單。此案9.78億創下智財權法院判決半導體業者侵權賠償最高
金額，也是歷來所有判決賠償金額第二高紀錄，僅次於飛利浦光碟片案10億權利金。更引
市場關注的是，可能牽動台積電等晶圓代工大廠晶圓盒供應狀況，震撼業界。英特格和家
登都是半導體晶圓盒重要供應商，也都是「台積電大同盟」成員，供應台積電晶圓廠使用
的晶圓盒等關鍵設備。

另外，市場傳出英特格企圖藉專利戰勝訴之際，可能重啟收購家登並打壓收購價格，逼迫
家登出售當紅的極紫外光（EUV）光罩傳送盒事業部門，吃下整個光罩傳送盒市場。因此
，家登面臨生死關頭決定力拼，可能決定上訴並主動提出反訴。

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