請問從事Defect team的分析手法 - 工程師

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By Edwina
at 2013-09-13T10:03

Table of Contents

defect team爽啊 只要會highlight製程&設備 就OK
KLA跟SEM進來在學就好
KLA: Scan整個wafer的表面
SEM: Review定位點
FIB做TEM切片
證據在哪裡 案子就辦到哪 大是大非
叫設備製程出來負責 認罪 加班到死
顧人怨的事情 久了就換defect team死 104就開缺了


※ 引述《kuoQ (QQ)》之銘言：
: 目前我在八吋廠擔任defect team工程師
: 因為有時會難以釐清defect來源
: 想跟是從事同單位性質的工程師討論一下分析手法
: 或許藉由討論可以讓彼此學到不同方法
: 若不方便公開的話可以來信討論
: 謝謝!!

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All Comments

Enid avatar
By Enid
at 2013-09-14T14:33
以前在U當設備的時候，最賭爛的就是defect team的
Jacob avatar
By Jacob
at 2013-09-18T03:58
KLA也有review tool了喔.....ranger.
Queena avatar
By Queena
at 2013-09-21T11:10
通常是給物理 材料 電機做的 偶爾雜一些
Skylar Davis avatar
By Skylar Davis
at 2013-09-24T02:08
defect team亂槍打鳥, 反正此站發現defect前後十站都highlight
Sierra Rose avatar
By Sierra Rose
at 2013-09-28T16:56
全部 highlight 都不用動頭腦的, 有些PIE也是如此....
Candice avatar
By Candice
at 2013-10-01T11:41
阿娘為...
Bethany avatar
By Bethany
at 2013-10-01T18:18
離開defect team 真的會有種不知道能幹啥的fu 有點廢
Skylar DavisLinda avatar
By Skylar DavisLinda
at 2013-10-05T00:40
好笑的是一種DEFECT還可以同時gradeB兩種機台.....
Una avatar
By Una
at 2013-10-09T11:45
這各組..就是亂槍打鳥,tool commonality做一做就好啦
Linda avatar
By Linda
at 2013-10-09T14:09
此站發現Defect往後H/L是要吃屎嗎
Andrew avatar
By Andrew
at 2013-10-09T16:21
看你同事打誰，你就跟著打，反正就算打錯 ,PE/EE還是有辦法
Hardy avatar
By Hardy
at 2013-10-13T21:53
生出精美的report，至於report怎麼出來的，也是腦補而已
八九成的工程師還不是開機台東擦西擦，也不知道怎樣就好了

請問從事Defect team的分析手法

Queena avatar
By Queena
at 2013-09-13T07:17
建議你可以先撈chart看correlation，可以by tool, by time, by lot, by process 等等的方式去找。如果有defect formation model 或是以前的經驗，就可以排出check 的 priority� ...

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Rachel avatar
By Rachel
at 2013-09-13T06:35
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By Olivia
at 2013-09-13T05:48
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Anonymous avatar
By Anonymous
at 2013-09-13T00:21
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