離子槍用於PVD設備 - 工程師

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By Emily
at 2014-12-13T00:13

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請教一下
小弟最近剛接觸科技產業
拜訪一家在做光學鏡頭的公司 說是採用PVD設備 再搭配離子槍輔助
在玻璃上沉積

那一般半導體製程在晶圓的薄膜沉積 也會用到PVD
裡面也有離子槍嗎??

謝謝!!

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All Comments

Sarah avatar
By Sarah
at 2014-12-16T03:30
沒有
Bethany avatar
By Bethany
at 2014-12-19T21:18
http://www.books.com.tw/products/0010583142
Sandy avatar
By Sandy
at 2014-12-24T20:21
離子槍好像也可以用在蒸鍍機?
Puput avatar
By Puput
at 2014-12-27T09:05
電漿<--- 濺鍍機
Yuri avatar
By Yuri
at 2014-12-29T07:02
ion-Gun是助鍍用的,讓膜更結實,品質更好,不過要調參數
Valerie avatar
By Valerie
at 2014-12-30T05:40
所以半導體製程PVD有ion-Gun嗎?? 有大大私底下回信說有
Mason avatar
By Mason
at 2014-12-30T17:13
公司在南科嗎?
Frederic avatar
By Frederic
at 2015-01-01T09:28
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By Hedda
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