離子槍用於PVD設備 - 工程師

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請教一下
小弟最近剛接觸科技產業
拜訪一家在做光學鏡頭的公司 說是採用PVD設備 再搭配離子槍輔助
在玻璃上沉積

那一般半導體製程在晶圓的薄膜沉積 也會用到PVD
裡面也有離子槍嗎??

謝謝!!

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All Comments

Sarah avatarSarah2014-12-16
沒有
Sandy avatarSandy2014-12-24
離子槍好像也可以用在蒸鍍機?
Puput avatarPuput2014-12-27
電漿<--- 濺鍍機
Yuri avatarYuri2014-12-29
ion-Gun是助鍍用的,讓膜更結實,品質更好,不過要調參數
Valerie avatarValerie2014-12-30
所以半導體製程PVD有ion-Gun嗎?? 有大大私底下回信說有
Mason avatarMason2014-12-30
公司在南科嗎?
Frederic avatarFrederic2015-01-01
雷射蒸鍍