黃光,微影製程的書籍? - 工程師

最近要接觸到這塊領域

希望大家可以推薦...

希望:

1.越詳細越好,針對黃光段...如果對光阻顯影的機制 各家光阻品牌分析介紹

等資料更好

2.中 英文的書籍 ,兩者都需要

3.或者有板上高手, 用不上的書. 便宜出售給小弟也行.....

4.或者交個朋友, 一起互相研究!( 我有skype)

畢竟這種東西很無聊,又不得不學... 有人一起當聊天一樣討論

是很不錯的....我們也可以交換技能( 吉他, 電影...等XD)






目前身上有一本 好多年以前的 半導體微影技術

龍文安寫的


看起來是很詳細, 不過時代久遠

不知道值不值得再去買新版?

謝謝





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