半導體製程UV curing - 工程師

By Sarah
at 2015-10-31T21:30

Table of Contents

請教下

小弟沒進去過半導體廠最近在寫些半導體產業狀況
若有寫錯麻煩訂正下謝謝!

最近查到"UV curing"(紫外光固化) 就UV固化設備
google查到
他是用在微影製程
主要功能是利用UV光對光阻進行預處理以加強光阻的強度

這是還沒在曝光前預熱(軟烤)的嗎?? 還是其他製程?
還是我查的資料有錯不是用在半導體製程

謝謝!!!

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Tags: 工程師

All Comments

By Kyle
at 2015-11-03T16:57

UV是單獨出來的機台, 通常是在IMPL前的製程

By Anthony
at 2015-11-05T12:17

不是用在黃光，用在 TF 氧化薄膜上，使固化沒錯

By Heather
at 2015-11-06T21:10

tf 的ultra low k吧

By Genevieve
at 2015-11-11T10:06

To 1&2F, 確實有用在微影製程.後段metal 顯影後可用

By Queena
at 2015-11-13T06:32

用在哪看工廠製程設計上可以有不同選擇我相信1.2樓看過

By Megan
at 2015-11-14T21:38

的flow確實有人會這樣安排

By Sarah
at 2015-11-16T20:14

這種機台的結構設計上相對其他機台簡單一些因為只做

By Adele
at 2015-11-19T21:17

UV照射, 所以run貨速度非常快, 需要監測的參數也較少
但是相對來說如果發生問題也比較難第一時間發現

By Erin
at 2015-11-20T06:00

LK film後的UV Curing

By Madame
at 2015-11-23T09:56

填via的洞啦.....

By Ingrid
at 2015-11-27T07:14

用來detapping？

By Faithe
at 2015-11-29T15:43

PE:X！又殘膠了！

By Olivia
at 2015-12-01T23:11

很多地方有用@@利用不同波段用在不同的地方~

By Elizabeth
at 2015-12-02T19:29

UV curing 要了解到是把什麼原子Cur 出來，半導體通常用D
ep之後

By Edward Lewis
at 2015-12-07T12:40

Pm有夠麻煩

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