半導體製程UV curing - 工程師

請教下

小弟沒進去過半導體廠 最近在寫些半導體產業狀況
若有寫錯麻煩訂正下 謝謝!

最近查到"UV curing"(紫外光固化) 就UV固化設備
google查到
他是用在微影製程
主要功能是利用UV光對光阻進行預處理以加強光阻的強度

這是還沒在曝光前預熱(軟烤)的嗎?? 還是其他製程?
還是我查的資料有錯 不是用在半導體製程

謝謝!!!

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