台積電中科十奈米晶圓廠環差 專案小組： - 工程師

台積電中科十奈米晶圓廠環差 專案小組：送環評會

〔記者陳炳宏／台北報導〕

中科台中園區擴建基地（大肚山彈藥分庫用地）今天進行環差影響評估報告結論變更
審查會議，除開發單位中科管理局針對環團、環評委員各項質疑一一答覆外，進駐的廠商
台積電公司代表，也針對目前實作且領先國際的十奈米製程，詳細說明各項革命性污染防
治處理，最後專案小組以結論針對審核修正通過，送交環評大會。

此次環差報告主要是因，台積電運作化學物質與危害性化學物質項目與數量調整，所
以需要修改原環評說明書；其中管道排放物質清單，雖由原來152種增為182種，但經危害
確認後，具毒理資料可納入健康風險評估的物質，從原評估36種減少為32種；Group 2B以
上致癌物由原有乙醇、乙醛、砷、鎳四種，因製程改變的關係，變為砷、鎳、二氯甲烷、
三氯甲烷、及鈷化合物。

專案小組在結論中指出，本次變更營運階段使用的化學物質項目與數量，目前的健康
風險評估分析方法與步驟，大致符合健康風險評估技術規範的內容，不過須再補充增減運
作或衍生化學物質檢測來源濃度（含己測圖譜），以及暴露劑量、致癌、非致癌風險及風
險管理對策。

另外，結論中也要求，變更後放流水致癌風險及非致癌風險較變更前增加，應納入會
中討論所提鈷、顯影劑TMAH（氫氧化四甲基銨）處理回收設施等風險管理策略。

科技部中科管理局局長陳銘煌表示，此次台中園區擴建基地，範圍主要位於東大路旁
的軍方大肚山彈藥分庫用地，面積約53.08公頃，進駐廠商僅台積電與巨大機械，其中台
積電面積約32公頃，此次採用領先世界的十奈米製程，規劃先興建二座十二吋晶圓廠，其
中第一座已完工，目前工廠二十四小時運作中；第二座也已上樑。

陳銘煌指出，另一家進駐廠商為巨大機械，面積約1.56公頃，預計設立全球營運總部
、研發中心以及自行車博物館。

陳銘煌說，中科台中園區擴建基地原為104年2月6日通過，但因台積電原先針對二十
八奈米製程所提的環評報告，與後來十奈米製程採用更先進的技術，產生的化學物質項目
與數量與原說明書不同，所以申請變更。

http://news.ltn.com.tw/news/business/breakingnews/1875465

(自由時報 2016/11/03)

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