陸研製成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻裝備 - 工程師

Isla avatar
By Isla
at 2018-11-30T15:55

Table of Contents

https://www.chinatimes.com/realtimenews/20181129003782-260409

2018年11月29日 17:45 旺報 李鋅銅

由大陸中國科學院光電技術研究所承擔的國家重大科研裝備——超分辨光刻裝備專案29日
在成都通過驗收,大陸科學家已研製成功世界上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備,
並形成一條全新的奈米光學光刻工藝路線,具有完全自主智慧財產權。

中科院光電所所長、超分辨光刻裝備專案首席科學家羅先剛研究員表示,2012年,該所承
擔了超分辨光刻裝備這一國家重大科研裝備項目研製任務,經過近7年艱苦攻關,在無國
外成熟經驗可借鑑情況下,專案組突破了高均勻性照明、超分辨光刻鏡頭、等關鍵技術,
完成國際上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備研製,採用365奈米波長光源,單次曝
光最高線寬分辨力達到22奈米。專案組還結合超分辨光刻裝備專案開發的高深寬比刻蝕、
多重圖形等配套工藝,實現了10奈米以下特徵尺寸圖形的加工。

這一世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備,是基於表面等離子體超衍射研製而成,
打破了傳統光學光刻分辨力受限於光源波長及鏡頭數值孔徑的傳統路線格局,形成了一條
全新的超衍射奈米光刻從原理、裝備到工藝的技術路線,具有完全自主智慧財產權,為超
材料/超表面、第三代光學器件、廣義晶片等變革性戰略領域的跨越式發展提供了製造工
具。
--

上輩子是人的人才是人(屬於人道,本性人性)!!!
上輩子是動物或鬼的人叫修羅(屬於修羅道,本性非人性,自以為是人)!!!
人類=人+修羅(人道) ; https://tinyurl.com/yc8s5el3
處在人道的修羅不是人因為其靈魂不是人,修羅也不是鬼因為其有人的肉身
所以處在人道的修羅在初始狀態其實是非人非鬼的怪物........

--

All Comments

Hamiltion avatar
By Hamiltion
at 2018-12-04T03:59
365nm???
Margaret avatar
By Margaret
at 2018-12-05T07:02
這有比EUv強嗎?
Queena avatar
By Queena
at 2018-12-05T08:27
22nm?10nm?GG果然比支那強
Ophelia avatar
By Ophelia
at 2018-12-05T12:58
這次是拿哪家的來re-marking?
Olga avatar
By Olga
at 2018-12-10T04:35
I line做sub 10nm, 那我沖天砲都可以射上月球了
Hardy avatar
By Hardy
at 2018-12-14T22:03
真不愧是中時
Franklin avatar
By Franklin
at 2018-12-17T02:41
厲害了 我的國
Dinah avatar
By Dinah
at 2018-12-17T04:46
厲害了我的國
Candice avatar
By Candice
at 2018-12-18T14:21
不用靠asml的意思喔? 果然支那最強
Puput avatar
By Puput
at 2018-12-20T12:00
痾.....
Elizabeth avatar
By Elizabeth
at 2018-12-20T20:24
http://i.imgur.com/Av9NEDc.jpg ASML輸了只有220 nm
Lydia avatar
By Lydia
at 2018-12-24T13:29
呵呵
Hedy avatar
By Hedy
at 2018-12-28T04:59
結果機器外箱是A....
James avatar
By James
at 2018-12-29T16:03
這次又是拿哪一家的來 Remark?
Ursula avatar
By Ursula
at 2019-01-02T21:40
習近平萬歲
Iris avatar
By Iris
at 2019-01-03T21:08
mark抹掉 技術文件翻譯一下 就是自己的ㄌ
Thomas avatar
By Thomas
at 2019-01-07T06:52
double pattern是專利 是在用屁用
Damian avatar
By Damian
at 2019-01-11T21:15
或成最大贏家
Andy avatar
By Andy
at 2019-01-12T14:30
I-line 可以做22nm ??
Victoria avatar
By Victoria
at 2019-01-16T02:40
可以啊~公式每個人都知道,怎麼做不出來… 比如搞
Xanthe avatar
By Xanthe
at 2019-01-21T02:05
個高NA Lens,但是機台能不能量產,符不符合經濟效益
…呵呵!
Kyle avatar
By Kyle
at 2019-01-21T03:49
厲害了 我的國 快把殲20的芯片都換上吧 嘻嘻
Irma avatar
By Irma
at 2019-01-22T10:40
這國家沒在尊重專利的,不然怎會被美國打。
Andy avatar
By Andy
at 2019-01-24T11:18
結果就是一堆垃圾
Xanthe avatar
By Xanthe
at 2019-01-25T22:53
撕開標籤,結果是asml的mark
Gary avatar
By Gary
at 2019-01-26T18:37
這次是買哪家的來改自家商標?
Connor avatar
By Connor
at 2019-01-31T18:30
怕又是貼牌的
Tracy avatar
By Tracy
at 2019-02-05T03:13
厲害了你的國
Victoria avatar
By Victoria
at 2019-02-08T06:24
厲害了,這個支

SEMI 2018:台灣半導體產業2021年產值估

Ivy avatar
By Ivy
at 2018-11-30T14:38
SEMI 2018:台灣半導體產業2021年產值估達3兆元 http://bit.ly/2zyEwD4 台灣IC產業締造:IC製造全球第一、封測全球第一、IC 設計全球第二 由 SEMI 主辦的「2018 國際半導體展」及論壇,SEMI 產業分析總監曾瑞榆指出,明年 (2019)全球半導體產值可望突破 5000 億美元,而台灣半導體產業明年產值預估成長 8% ,2020 年至 2021 年預 ...

AI律師機器人DoNotPay 協助你寫訴狀

Delia avatar
By Delia
at 2018-11-30T11:49
AI律師機器人DoNotPay 協助你寫訴狀 http://bit.ly/2zAiKib DoNotPay是一個免費的聊天機器人,利用iOS APP提供人工智慧法律諮詢,自動產生法院 訴狀,避免個人需支付昂貴的法律諮詢費給律師。雖然該公司標榜利用APP就可「按下按 鈕起訴任何人」,但其背後的技術核心必須串聯起訴訟公司及相關訴訟的法院機構,並引 導個人去解決日常所遇到的複雜法律問題。 DoNo ...

3D控制器專利訴訟:台灣CyWee在美控告八

Catherine avatar
By Catherine
at 2018-11-30T11:43
3D控制器專利訴訟:台灣CyWee在美控告八家科技大廠 http://bit.ly/2BoFGCq 台灣CyWee Group Ltd. (速位互動)以兩件專利US8,552,978與US8,441,438,從2014年開 始陸續積極主張專利權,分別控告了蘋果、三星、LG、華為、摩托羅拉、宏達電、中興、 Google等八家科技大廠,涉及一種人機互動的3D控制技術,可應用於手機及平板機產品。 ...

其實北漂根本是假議題吧?

Anonymous avatar
By Anonymous
at 2018-11-30T11:42
其實沒有假,高雄真的會起飛,你看高雄 市政府內部的工作突然收到一堆應徵者 想必人才之後會聚集高雄,加上陸客跟中國 台北商人加碼投資,這些確實有可能把高雄 帶起來,別以為是假的,到時候北漂的真的 可以回高雄 - ...

離岸風電外商:重新評估財務 考慮不玩了

George avatar
By George
at 2018-11-30T11:04
※ [本文轉錄自 cjol 信箱] 作者: DowJones (道瓊工業指數) 看板: Stock 標題: [新聞] 離岸風電外商:重新評估財務 考慮不玩了 時間: Thu Nov 29 21:41:38 2018 1.原文連結: https://udn.com/news/story/7238/3509615?from=udn-ch1_breaknews-1-0-news 2.原文內容: ...