台積離子佈植設備 - 離職

IMP 分為 Wheel ChamDber與Single Camber因為Wheel Chamber 的報廢批太大一
次13Pcs，所以GG後期皆改良為Single。

其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那會常PM後outgassing
到往生，其實有解決方法，只要把粉狀藥劑與Source Head放在最後裝上，且Source Hea
d/ Liner需昨天就已置於烤箱中，可減少outgassing的時間，再者建置高真空時，前後多
做幾次N2 purge，可減少異味也可快速建置真空，其實最怕做到此類型機台，有時候 Exh
aust沒做好，異味外洩有可能全場疏散。

另一項最為頭痛的為Source Head Filament/PFG Short，其中S/H short 有解決
方法，就
是將 Filament Cathode 與 Liner 間 改良Liner為倒梯形，一方面不會導致Plasma外逸
，另一方面可以增加Filament Cathode 與 Liner 間距，減少Short的機會延長PM時間。

Source Head也常常建置真空後，S/H後端外管漏水，解決方法為建置OFF Line 測
漏水。

S/H O-ring 對建置高中空也其為重要，最好OFF Line就檢查，當建置粗真空時(
即Turbo
Pump 打開) 一定要用N2測漏儀器測漏，否則建置不起來高真空，或是導致 Cryo Pump 回
溫這可能要到隔天去了。

因為IMP製程適用於半導體與Dram，但是Dram 的IMP Recipe其 Energy與Dose相
對單純固定，不像半導體有幾百隻IMP Recipe常常需要切換，導致常常需要PM。

其IMP 所學範圍極窄，只是用半導體業，GG 轉職也只能去 Vendor作 trouble
shooting或幫忙原廠更新零件配置的功能，離開GG，人生GG，忠言又逆耳。

※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之銘言：
: 人在日本出差 晚上無聊來發發廢文聊一下imp
: 小弟之前在某fab內顧過幾年的imp
: 台灣的imp機台供應商大概有三家 AMAT Axcelis SHI
: 小弟只顧過兩個A社的
: 所以聊聊這兩家的機台
: 前面有人提到說 沒三年不敢說懂imp
: 個人還蠻認同的
: 沒一定經驗我看連想解讀alarm message都蠻困難的
: 不過說是真空機台內最難的我倒是不太認同
: 畢竟imp內部沒有光路 隨便一台有光路的機台難度都屌打imp
: 而且就算被PE highlight 說機台run出來的產品有問題要處理
: 最後也就換換parts tunebeam完以後就完事了
: 另外IMP個人認為算是蠻危險的機台
: 不光是平常使用的是毒氣之外 (B P As)
: 還有機會會發爐 有遇過一抽真空機台就shutdown開始冒煙
: 而且機台parts普通偏重 又需要常常拆卸
: 危險性跟其他module比起來應該也有前三吧 (?
: 後面聊聊機台
: AMAT現在主力的機台是trident 900xp
: 這兩種beamline型機台 只要平常parts的品質夠好
: 顧起來都算輕鬆的 (反而言之parts爛的時候就知道了XD)
: 另外還有一種叫PLAD 顧到這種機台的很屎
: 不光是機台很屎 聞起來也很屎
: 不過這機台就真的比較難 應該很少會給新人顧
: 但是PM的時候就會很想死了 因為真的很臭
: axcelis的機台就high energy類跟現在最新的purionH
: a社的機台就很難顧
: 因為AMAT的機台程式整合得很好 照著SOP通常都不會有甚麼問題
: a社的就很多毛 傳片也是特別的disk式
: 是以前八吋的霸者 現在就被AMAT打趴
: 至於以前上班的生活
: 大概就是PM 顧SPC、FDC 撿螺絲 刷地板 整理環境之類的
: 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam還有跟OP吵架
: tunebeam也很吃個人技術跟經驗
: 要怎麼tune到小姐都覺得你超屌就是個人技術了
: 心得大概就是這些
: 雖然我最後還是離職了
: 不過普遍聽到的imp的離職率其實還蠻低的 (連日本的fab好像也是)
: 或許imp真的就是這麼好顧也說不定

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